1497065-X  

Microelectronic engineering

[Erscheinungsort nicht ermittelbar] : Elsevier

1.1983 - 88.2011; Vol. 89.2012 -

Ab 2012 mit durchgehender Heftzählung, die als Vol. bez. wird

Online-Ressource

Erscheint auch als Druck-Ausgabe:  Microelectronic engineering  (ISSN: 0167-9317) 

In Beziehung stehendes Werk 2018-:  Micro and nano engineering  (ISSN: 2590-0072) 

OCLC-Nr.: 1033825692

MIENEF

https://ezb.ur.de/?1497065-X  [EZB] 

https://www.sciencedirect.com/journal/mi...  [Verlag] 

https://www.sciencedirect.com/journal/mi...  [Verlag; 1.1983 - 2002. - Nationallizenz] 

DDC-Sachgruppen der ZDB: 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau 

Zeitschrift

Englisch 

Niederlande 

Online-Ausgabe

Deutsche Forschungsgemeinschaft

019897413

13-11-24

605230-7  

Microelectronic engineering : an international journal of semiconductor manufacturing technology

Amsterdam [u.a.] : Elsevier

Amsterdam : North-Holland Publ. Co. [anfangs]

Tokyo : Ohmsha [früher]

1.1983(1983/85) - 88.2011; Vol. 89.2012 -

Ab 2012 mit durchgehender Heftzählung, die als Vol. bez. wird

Erscheint auch als Online-Ausgabe:  Microelectronic engineering 

7,2/4=1; 12=2 von:  Electron and optical beam testing of integrated circuits 

3,1/4=1985; 5,1/4=1986; 6,1/4=13; 9,1/4=14 von:  Microcircuit engineering  (ISSN: 0893-5157) 

ISSN: 0167-9317

OCLC-Nr.: 630232822

MIENEF

DDC-Sachgruppen der ZDB: 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau 

Zeitschrift

Englisch 

Niederlande 

Druckausgabe

vierteljährlich

013486985

12-11-24