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Journal of vacuum science and technology : JVST ; an AVS journal / publ. by the Society through the American Institute of Physics. B, Nanotechnology & microelectronics
New York, NY : Inst. 1983 -
Titel
Journal of vacuum science and technology : JVST ; an AVS journal / publ. by the Society through the American Institute of Physics
Unterreihe
B, Nanotechnology & microelectronics : materials, processing, measurement, & phenomena
Anmerkungen
Hauptsacht. bis 28.2010,1: Journal of vacuum science & technology
2. Zusatz anfangs: the official journal of the AVS
Sachl. Benennung bis 8.1990: Microelectronics processing and phenomena
Sachl. Benennung 9.1991 - 20.2002: Microelectronics and nanometer structures
Sachl. Benennung 21.2003 - 28.2010,1: An international journal devoted to microelectronics and nanometer structures
Abkürzungstitel: JVTBD9
Abkürzungstitel: J. Vac. Sci. Technol. B
1. Zusatz ab 2.Ser. 12.1994
Weitere Titelhinweise
In 1,2=4; in 2,2=5; in 4,1=6; in 5,3=7; in 6,2=8; in 7,2=9 von: Molecular Beam Epitaxy Workshop: Proceedings of the ... Molecular Beam Epitaxy Workshop
In 1,4=1983; in 3,1=1984; in 4,1=29; in 5,1=30; in 6,1=31; in 6,6=32; in 7,6=33 von: International Symposium on Electron, Ion, and Photon Beams: Proceedings of the ... International Symposium on Electron, Ion, and Photon Beams (ISSN: 1063-9586)
In 2,4=14; in 4,6=16 von: Symposium on Coatings for Large Scale Metallurgical, Optical, and Electronic Applications: Proceedings of the annual Symposium of the Greater New York Chapter of the AVS on Coatings for Large-Scale Metallurgical, Optical, and Electronic Applications
In 3,2=3 von: International Conference on Molecular Beam Epitaxy: Proceedings of the ... International Conference on Molecular Beam Epitaxy
1,3=10; in 2,3=11; in 3,4=12; in 4,4=13; in 5,4=14; in 6,4=15; in 7,4=16; in 8,4=18 von: Conference on the Physics and Chemistry of Semiconductor Interfaces: Proceedings of the ... annual Conference on the Physics and Chemistry of Semiconductor Interfaces (ISSN: 1063-8997)
In 2,4=2 von: Workshop on Refractory Metal Silicides for VLSI: Proceedings of the Workshop on Refractory Metal Silicides for VLSI
In 3,6=3; in 4,6=4; in 5,6=5 von: Workshop on Refractory Metals and Silicides for VLSI: Proceedings of the Workshop on Refractory Metals and Silicides for VLSI
In 3,5=1; in 5,5=2; in 7,5=3 von: Topical Meeting on the Microphysics of Surfaces, Beams and Adsorbates: Proceedings of the ... Topical Meeting on the Microphysics of Surfaces, Beams and Adsorbates
6,6=6 von: Workshop on Metals, Dielectrics, and Interfaces for VLSI: Proceedings of the Workshop on Metals, Dielectrics, and Interfaces for VLSI
1,2=1 von: Modulated semiconductor structures
Standardnummern
ISSN: 2166-2746; 1071-1023; 0734-211X
OCLC-Nr.: 263603465
Sacherschließung
DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik
Weitere Klassifikation(en):
Regensburger Verbundklassifikation (rvk): UA 4922
Schlagwörter: Vakuumtechnik ; Zeitschrift
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Journal of vacuum science & technology : JVST ; an AVS journal / publ. by the Society through the American Institute of Physics. B, Nanotechnology & microelectronics
New York, NY : AIP Publishing 2010 -
Titel
Journal of vacuum science & technology : JVST ; an AVS journal / publ. by the Society through the American Institute of Physics
Unterreihe
B, Nanotechnology & microelectronics : materials, processing, measurement, & phenomena
Erschienen
New York, NY : AIP Publishing
Erscheinungsverlauf
2nd ser., Volume 28, Issue 1, (January 2010)-
Anmerkungen
Nebent.: Nanotechnology and microelectronics
Nebent.: JVST B
Online-Ressource
Standardnummern
Linking ISSN: 2166-2746
ISSN: 2166-2754
OCLC-Nr.: 1368589312
Sacherschließung
DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik
Weitere Klassifikation(en):
Regensburger Verbundklassifikation (rvk): UA 4922
Schlagwörter: Vakuumtechnik
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Journal of vacuum science & technology : JVST ; an AVS journal. B, Microelectronics and nanometer structures
New York : Published for the Society by the American Institute of Physics 1991-2010
Titel
Journal of vacuum science & technology : JVST ; an AVS journal
Unterreihe
B, Microelectronics and nanometer structures
Erschienen
New York : Published for the Society by the American Institute of Physics
Erscheinungsverlauf
2nd ser., Volume 9, no. 1 (Jan./Feb. 1991)-2nd ser., Volume 28, no. 1 (Jan./Feb. 2010)
Anmerkungen
Nebent.: Microelectronics and nanometer structures
Nebent.: JVST B
Online-Ressource
Standardnummern
Linking ISSN: 1071-1023
ISSN: 1520-8567
OCLC-Nr.: 1368940278
Sacherschließung
DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik
Weitere Klassifikation(en):
Regensburger Verbundklassifikation (rvk): UA 4922
Schlagwörter: Vakuumtechnik
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Journal of vacuum science & technology : JVST ; the official journal of the American Vacuum Society / publ. by the American Institute of Physics. B, Microelectronics processing and phenomena
New York, NY : Inst. 1983-1990
Titel
Journal of vacuum science & technology : JVST ; the official journal of the American Vacuum Society / publ. by the American Institute of Physics
Unterreihe
B, Microelectronics processing and phenomena
Erscheinungsverlauf
2. Ser. 1.1983 - 2. Ser. 8.1990
Anmerkungen
Abkürzungstitel: JVTBD9
Abkürzungstitel: J. Vac. Sci. Technol. B
Online-Ressource
Gesehen am 15. Dezember 2016
Standardnummern
Linking ISSN: 0734-211X
ISSN: 2327-9877
OCLC-Nr.: 1368160498
Sacherschließung
DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik
Weitere Klassifikation(en):
Systematik der TUB München (stub): ELT 279z ; PHY 101z
Schlagwörter: Halbleitertechnologie ; Zeitschrift ; Online-Ressource
Dünnschichttechnik ; Zeitschrift ; Online-Ressource
Vakuumphysik ; Zeitschrift ; Online-Ressource
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Journal of vacuum science & technology : JVST ; an AVS journal / publ. by the Society through the American Institute of Physics. A & B
New York, NY : Inst. 2011-2013
Titel
Journal of vacuum science & technology : JVST ; an AVS journal / publ. by the Society through the American Institute of Physics
Erscheinungsverlauf
Nachgewiesen 29.2011 - 31.2013; damit Ersch. eingest.
Anmerkungen
CD-ROMs
Gesehen am 21.08.13
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