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	Journal of vacuum science and technology : JVST ; an AVS journal / publ. by the Society through the American Institute of Physics. B, Nanotechnology & microelectronics New York, NY : Inst. 2.Ser. 1.1983 - Mehr Titelinformationen Weniger Titelinformationen Vollanzeige umschalten ZDB-ID 797726-8 Titel Journal of vacuum science and technology : JVST ; an AVS journal / publ. by the Society through the American Institute of Physics Unterreihe B, Nanotechnology & microelectronics : materials, processing, measurement, & phenomena Körperschaft American Vacuum Society Erschienen New York, NY : Inst. Erscheinungsverlauf 2.Ser. 1.1983 - Anmerkungen Hauptsacht. bis 28.2010,1: Journal of vacuum science & technology 2. Zusatz anfangs: the official journal of the AVS Sachl. Benennung bis 8.1990: Microelectronics processing and phenomena Sachl. Benennung 9.1991 - 20.2002: Microelectronics and nanometer structures Sachl. Benennung 21.2003 - 28.2010,1: An international journal devoted to microelectronics and nanometer structures Abkürzungstitel: JVTBD9 Abkürzungstitel: J. Vac. Sci. Technol. B 1. Zusatz ab 2.Ser. 12.1994 Frühere/spätere Titel Vorg.: Journal of vacuum science & technology Andere Ausgaben Erscheint auch als Online-Ausgabe, 1983-1990: [Journal of vacuum science & technology / B] (ISSN: 2327-9877) Erscheint auch als Online-Ausgabe, 1991-2010: Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures (ISSN: 1520-8567) Erscheint auch als Online-Ausgabe, 2011-: Journal of vacuum science & technology. B, Nanotechnology & microelectronics (ISSN: 2166-2754) Erscheint auch als CD-ROM-Ausgabe: [Journal of vacuum science & technology / A & B] Weitere Titelhinweise In 1,2=4; in 2,2=5; in 4,1=6; in 5,3=7; in 6,2=8; in 7,2=9 von: Molecular Beam Epitaxy Workshop: Proceedings of the ... Molecular Beam Epitaxy Workshop In 1,4=1983; in 3,1=1984; in 4,1=29; in 5,1=30; in 6,1=31; in 6,6=32; in 7,6=33 von: International Symposium on Electron, Ion, and Photon Beams: Proceedings of the ... International Symposium on Electron, Ion, and Photon Beams (ISSN: 1063-9586) In 2,4=14; in 4,6=16 von: Symposium on Coatings for Large Scale Metallurgical, Optical, and Electronic Applications: Proceedings of the annual Symposium of the Greater New York Chapter of the AVS on Coatings for Large-Scale Metallurgical, Optical, and Electronic Applications In 3,2=3 von: International Conference on Molecular Beam Epitaxy: Proceedings of the ... International Conference on Molecular Beam Epitaxy 1,3=10; in 2,3=11; in 3,4=12; in 4,4=13; in 5,4=14; in 6,4=15; in 7,4=16; in 8,4=18 von: Conference on the Physics and Chemistry of Semiconductor Interfaces: Proceedings of the ... annual Conference on the Physics and Chemistry of Semiconductor Interfaces (ISSN: 1063-8997) In 2,4=2 von: Workshop on Refractory Metal Silicides for VLSI: Proceedings of the Workshop on Refractory Metal Silicides for VLSI In 3,6=3; in 4,6=4; in 5,6=5 von: Workshop on Refractory Metals and Silicides for VLSI: Proceedings of the Workshop on Refractory Metals and Silicides for VLSI In 3,5=1; in 5,5=2; in 7,5=3 von: Topical Meeting on the Microphysics of Surfaces, Beams and Adsorbates: Proceedings of the ... Topical Meeting on the Microphysics of Surfaces, Beams and Adsorbates 6,6=6 von: Workshop on Metals, Dielectrics, and Interfaces for VLSI: Proceedings of the Workshop on Metals, Dielectrics, and Interfaces for VLSI 1,2=1 von: Modulated semiconductor structures Standardnummern ISSN: 2166-2746; 1071-1023; 0734-211X OCLC-Nr.: 263603465 Coden JVTBD9 Sacherschließung DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik Weitere Klassifikation(en): Regensburger Verbundklassifikation (rvk): UA 4922 Schlagwörter: Vakuumtechnik ; Zeitschrift Erscheinungsform Zeitschrift Sprache Englisch Erscheinungsland Vereinigte Staaten, USA, United States Medientyp Druckausgabe IDN 014416840 Letzte Änderung 30-04-24	Diesen Titel auf die Merkliste setzen
	Journal of vacuum science & technology : JVST ; an AVS journal / publ. by the Society through the American Institute of Physics. B, Nanotechnology & microelectronics New York, NY : AIP Publishing 2nd ser., Volume 28, Issue 1, (January 2010)- Mehr Titelinformationen Weniger Titelinformationen Vollanzeige umschalten ZDB-ID 3117331-7 Titel Journal of vacuum science & technology : JVST ; an AVS journal / publ. by the Society through the American Institute of Physics Unterreihe B, Nanotechnology & microelectronics : materials, processing, measurement, & phenomena Körperschaft American Vacuum Society Erschienen New York, NY : AIP Publishing Erscheinungsverlauf 2nd ser., Volume 28, Issue 1, (January 2010)- Anmerkungen Nebent.: Nanotechnology and microelectronics Nebent.: JVST B Online-Ressource Frühere/spätere Titel Fortsetzung von: Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures Andere Ausgaben Erscheint auch als Druck-Ausgabe: [Journal of vacuum science and technology / B] (ISSN: 2166-2746) Standardnummern Linking ISSN: 2166-2746 ISSN: 2166-2754 OCLC-Nr.: 1368589312 URL https://ezb.ur.de/?3117331-7 [EZB] https://pubs.aip.org/avs/jvb [Verlag] Sacherschließung DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik Weitere Klassifikation(en): Regensburger Verbundklassifikation (rvk): UA 4922 Schlagwörter: Vakuumtechnik Erscheinungsform Zeitschrift Sprache Englisch Erscheinungsland Vereinigte Staaten, USA, United States Medientyp Online-Ausgabe IDN 1256321184 Letzte Änderung 30-04-24	Diesen Titel auf die Merkliste setzen
	Journal of vacuum science & technology : JVST ; an AVS journal. B, Microelectronics and nanometer structures New York : Published for the Society by the American Institute of Physics 2nd ser., Volume 9, no. 1 (Jan./Feb. 1991)-2nd ser., Volume 28, no. 1 (Jan./Feb. 2010) Mehr Titelinformationen Weniger Titelinformationen Vollanzeige umschalten ZDB-ID 3117333-0 Titel Journal of vacuum science & technology : JVST ; an AVS journal Unterreihe B, Microelectronics and nanometer structures Körperschaft American Vacuum Society Erschienen New York : Published for the Society by the American Institute of Physics Erscheinungsverlauf 2nd ser., Volume 9, no. 1 (Jan./Feb. 1991)-2nd ser., Volume 28, no. 1 (Jan./Feb. 2010) Anmerkungen Nebent.: Microelectronics and nanometer structures Nebent.: JVST B Online-Ressource Frühere/spätere Titel Fortsetzung von: [Journal of vacuum science & technology / B] Fortgesetzt durch: Journal of vacuum science & technology. B, Nanotechnology & microelectronics Andere Ausgaben Erscheint auch als Druck-Ausgabe: [Journal of vacuum science and technology / B] (ISSN: 2166-2746) Standardnummern Linking ISSN: 1071-1023 ISSN: 1520-8567 OCLC-Nr.: 1368940278 URL https://ezb.ur.de/?3117333-0 [EZB] http://avs.scitation.org/journal/jvb [Verlag] Sacherschließung DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik Weitere Klassifikation(en): Regensburger Verbundklassifikation (rvk): UA 4922 Schlagwörter: Vakuumtechnik Erscheinungsform Zeitschrift Sprache Englisch Erscheinungsland Vereinigte Staaten, USA, United States Medientyp Online-Ausgabe IDN 1256321419 Letzte Änderung 30-04-24	Diesen Titel auf die Merkliste setzen
	Journal of vacuum science & technology : JVST ; the official journal of the American Vacuum Society / publ. by the American Institute of Physics. B, Microelectronics processing and phenomena New York, NY : Inst. 2. Ser. 1.1983 - 2. Ser. 8.1990 Mehr Titelinformationen Weniger Titelinformationen Vollanzeige umschalten ZDB-ID 1475429-0 Titel Journal of vacuum science & technology : JVST ; the official journal of the American Vacuum Society / publ. by the American Institute of Physics Unterreihe B, Microelectronics processing and phenomena Körperschaft American Vacuum Society Erschienen New York, NY : Inst. Erscheinungsverlauf 2. Ser. 1.1983 - 2. Ser. 8.1990 Anmerkungen Abkürzungstitel: JVTBD9 Abkürzungstitel: J. Vac. Sci. Technol. B Online-Ressource Gesehen am 15. Dezember 2016 Frühere/spätere Titel Vorg.: Journal of vacuum science & technology Fortgesetzt durch: Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures Andere Ausgaben Erscheint auch als Druck-Ausgabe: [Journal of vacuum science and technology / B] (ISSN: 2166-2746) Erscheint auch als CD-ROM-Ausgabe: [Journal of vacuum science & technology / A & B] Standardnummern Linking ISSN: 0734-211X ISSN: 2327-9877 OCLC-Nr.: 1368160498 Coden JVTBD9 URL https://ezb.ur.de/?1475429-0 [EZB] http://avs.scitation.org/journal/jvb [Verlag] Sacherschließung DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik Weitere Klassifikation(en): Systematik der TUB München (stub): ELT 279z ; PHY 101z Schlagwörter: Halbleitertechnologie ; Zeitschrift ; Online-Ressource Dünnschichttechnik ; Zeitschrift ; Online-Ressource Vakuumphysik ; Zeitschrift ; Online-Ressource Erscheinungsform Zeitschrift Sprache Englisch Erscheinungsland Vereinigte Staaten, USA, United States Medientyp Online-Ausgabe IDN 019684703 Letzte Änderung 30-04-24	Diesen Titel auf die Merkliste setzen
	Journal of vacuum science & technology : JVST ; an AVS journal / publ. by the Society through the American Institute of Physics. A & B New York, NY : Inst. Nachgewiesen 29.2011 - 31.2013; damit Ersch. eingest. Mehr Titelinformationen Weniger Titelinformationen Vollanzeige umschalten ZDB-ID 2676899-9 Titel Journal of vacuum science & technology : JVST ; an AVS journal / publ. by the Society through the American Institute of Physics Unterreihe A & B Körperschaft American Vacuum Society Erschienen New York, NY : Inst. Erscheinungsverlauf Nachgewiesen 29.2011 - 31.2013; damit Ersch. eingest. Anmerkungen CD-ROMs Gesehen am 21.08.13 Andere Ausgaben Erscheint auch als Druck-Ausgabe: [Journal of vacuum science and technology / A] (ISSN: 0734-2101) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: [Journal of vacuum science and technology / B] (ISSN: 2166-2746) Erscheint auch als Online-Ausgabe: [Journal of vacuum science & technology / A] (ISSN: 1520-8559) Erscheint auch als Online-Ausgabe: [Journal of vacuum science & technology / B] (ISSN: 2327-9877) Standardnummern OCLC-Nr.: 809154351 Sacherschließung DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik Erscheinungsform Zeitschrift Sprache Englisch Erscheinungsland Vereinigte Staaten, USA, United States Medientyp CD/DVD IDN 1024972038 Letzte Änderung 01-12-17	Diesen Titel auf die Merkliste setzen

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