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Proceedings of the Workshop on Refractory Metals and Silicides for VLSI

New York, NY : [Verlag nicht ermittelbar] 3.1985 - 5.1987[?]

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ZDB-ID

57892-7

Titel

Proceedings of the Workshop on Refractory Metals and Silicides for VLSI

Körperschaft

Workshop on Refractory Metals and Silicides for VLSI

Erschienen

New York, NY : [Verlag nicht ermittelbar]

Erscheinungsverlauf

3.1985 - 5.1987[?]

Frühere/spätere Titel

Vorg.: Workshop on Refractory Metal Silicides for VLSI: Proceedings of the Workshop on Refractory Metal Silicides for VLSI

Weitere Titelhinweise

3 in 3,6; 4 in 4,6; 5 in 5,6 von: [Journal of vacuum science and technology / B] (ISSN: 2166-2746)

Standardnummern

OCLC-Nr.: 310949060

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 670 Industrielle Fertigung

Erscheinungsform

Zeitschrift

Veröffentlichungsform

Kongressbericht

Erscheinungsland

Vereinigte Staaten, USA, United States

Medientyp

Druckausgabe

IDN

01051094X

Letzte Änderung

03-09-22

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