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Optical microlithography / Conference on Optical Microlithography Technology. International Society for Optical Engineering. International Society for Hybrid Microelectronics

Bellingham, Wash. : [Verlag nicht ermittelbar] 1.1982 - 6.1987; 9.1996 -

ZDB-ID

592512-5  

Titel

Optical microlithography / Conference on Optical Microlithography Technology. International Society for Optical Engineering. International Society for Hybrid Microelectronics

Erschienen

Bellingham, Wash. : [Verlag nicht ermittelbar]

Erscheinungsverlauf

1.1982 - 6.1987; 9.1996 -

Anmerkungen

Nebent. 1.1982 - 6.1987: Optical microlithography technology

Frühere/spätere Titel

1988 - 8.1995:  Optical, laser microlithography 

Weitere Titelhinweise

1=334; 2=394 von:  Society of Photo-optical Instrumentation Engineers: Proceedings  (ISSN: 0038-7355) 

3=470; 4=538; 5=633; 6=772; 9=2726; 10=3051; 11=3334; 12=3679 von:  SPIE, The International Society for Optical Engineering: Proceedings  (ISSN: 0361-0748) 

Standardnummern

OCLC-Nr.: 916458217

Sacherschließung
Erscheinungsform

Zeitschrift

Veröffentlichungsform

Kongressbericht

Sprache
Medientyp

Druckausgabe

IDN

01337933X

Letzte Änderung

01-12-17

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