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Microelectronic engineering : an international journal of semiconductor manufacturing technology

Amsterdam [u.a.] : Elsevier 1.1983(1983/85) - 88.2011; Vol. 89.2012 -

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ZDB-ID

605230-7  

Titel

Microelectronic engineering : an international journal of semiconductor manufacturing technology

Erschienen

Amsterdam [u.a.] : Elsevier

Amsterdam : North-Holland Publ. Co. [anfangs]

Tokyo : Ohmsha [früher]

Erscheinungsverlauf

1.1983(1983/85) - 88.2011; Vol. 89.2012 -

Anmerkungen

Ab 2012 mit durchgehender Heftzählung, die als Vol. bez. wird

Andere Ausgaben

Erscheint auch als Online-Ausgabe:  Microelectronic engineering 

Weitere Titelhinweise

7,2/4=1; 12=2 von:  Electron and optical beam testing of integrated circuits 

3,1/4=1985; 5,1/4=1986; 6,1/4=13; 9,1/4=14 von:  Microcircuit engineering  (ISSN: 0893-5157) 

Standardnummern

ISSN: 0167-9317

OCLC-Nr.: 630232822

Coden

MIENEF

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau 

Schlagwörter:
Halbleitertechnologie ; Zeitschrift
Erscheinungsform

Zeitschrift

Sprache

Englisch 

Erscheinungsland

Niederlande 

Medientyp

Druckausgabe

Erscheinungsfrequenz

vierteljährlich

IDN

013486985

Letzte Änderung

03-09-22

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Aachen RWTH UB
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Zf2378
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ARCHIV
Bestand
1.1983 - 64.2002
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nein
Berlin UBTU
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4Z9791
Standort
Zeitschriften-Freihandmagazin
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21.1993; 27.1995
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Bochum Fak. Phys.u.Astronomie
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Signatur
ohne Sign.
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Zeitschriften
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40.1998 - 59.2001
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nein
Braunschweig PTB
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Einzelsignatur
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Bs68-B
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57/58.2001; 61/62.2002; 73/74.2004; 78/79.2005; 86.2009
[Einzelne Konferenzhefte in Auswahl vorhanden]
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Cottbus UB Cottbus-Senftenberg
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Bestand
Bestand
[Monogr.-Bestand; s. OPAC]
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Dresden SLUB, BB Drepunct
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Bestand
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19 4 02890
Bestand
10.1989,1; 16.1992 - 100.2012
Fernleihe
ja, Kopie und Ausleihe
Erlangen-N UB Technik/Naturw.
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Bestand
Standort
14ZS / Standortsignatur: 14ZS/SE 51-1996
Bestand
31.1996
Fernleihe
nein
Freiburg FI Festkörperphysik
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Bestand
Bestand
14.1991 - 92.2015
Fernleihe
nein
Hagen FernUB
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Bestand
Signatur
ZZX/MICE
Standort
03
Bestand
1.1983(1983/85)
Fernleihe
ja, Kopie und Ausleihe
Hamburg TUHH
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Bestand
Bestand
23.1994 - 30.1996
Fernleihe
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Hannover TIB
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Bestand
Signatur
ZO 2330 [Haus2]
Bestand
1.1983 - 88.2011; Vol. 89.2012 - 282.2023
[Mit 282.2023 abbestellt]
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Ilmenau UB
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Bestand
Signatur
ELT M 3000
Standort
68
Bestand
1.1983(1983/85) - 90.2012
Fernleihe
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Jena Ernst-Abbe-HS
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Bestand
Signatur
Alphabetische Aufstellung
Standort
UZ
Bestand
6.1987 - 9.1989; 10.1989/90,1-2; 11.1990 -12.1990; 16.1992 - 130.2014
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Standort
Mag
Bestand
7.1987 - 8.1988; 10.1989,1
[Mikrofiche-Ausg.]
Fernleihe
nein
Jülich ForschZ
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Bestand
Signatur
Z 4461
Bestand
3.1985 - 79.2005
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Kiel UB
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Einzelsignaturen
Standort
42
Bestand
[Bestand s. GVK (Link anklicken)]
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ja, Kopie und Ausleihe
URL
https://gvk.k10plus.de/CLK?IKT=1052&TRM=... 
Siegen UB
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Bestand
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50-88M14
Standort
Adolf-Reichwein-Straße, Ebene -1, Zeitschriften
Bestand
65.2003 - 86.2009
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Stuttgart UB
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2Za 8020
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Vaih
Bestand
1.1983(1983/85) - 39.1997
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ja, Kopie und Ausleihe
Tübingen FachBib Physik
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Bestand
Bestand
65.2003 - 87.2010
[Standort: Bereichsbibliothek Naturwissenschaften]
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nein
Ulm kiz
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6832
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Z
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12.1990 - 59.2001
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Wuppertal UB
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88M3
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86
Bestand
1.1983/84 - 64.2002
[Weitere Bände s. Einzelsignaturen]
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ja, Kopie und Ausleihe