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Journal of vacuum science & technology : JVST ; the official journal of the American Vacuum Society / publ. by the American Institute of Physics. B, Microelectronics processing and phenomena

New York, NY : Inst. 1983-1990

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ZDB-ID

1475429-0  

Titel

Journal of vacuum science & technology : JVST ; the official journal of the American Vacuum Society / publ. by the American Institute of Physics

Unterreihe

B, Microelectronics processing and phenomena

Körperschaft

American Vacuum Society 

Erschienen

New York, NY : Inst.

Erscheinungsverlauf

2. Ser. 1.1983 - 2. Ser. 8.1990

Anmerkungen

Abkürzungstitel: JVTBD9

Abkürzungstitel: J. Vac. Sci. Technol. B

Online-Ressource

Gesehen am 15. Dezember 2016

Frühere/spätere Titel

Vorg.:  Journal of vacuum science & technology 

Fortgesetzt durch:  Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures 

Andere Ausgaben

Erscheint auch als Druck-Ausgabe:  [Journal of vacuum science and technology / B]  (ISSN: 2166-2746) 

Erscheint auch als CD-ROM-Ausgabe:  [Journal of vacuum science & technology / A & B] 

Standardnummern

Linking ISSN: 0734-211X

ISSN: 2327-9877

OCLC-Nr.: 1368160498

Coden

JVTBD9

URL

https://ezb.ur.de/?1475429-0  [EZB] 

http://avs.scitation.org/journal/jvb  [Verlag] 

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik 

Weitere Klassifikation(en):
Systematik der TUB München (stub): ELT 279z ; PHY 101z

Schlagwörter:
Halbleitertechnologie ; Zeitschrift ; Online-Ressource
Dünnschichttechnik ; Zeitschrift ; Online-Ressource
Vakuumphysik ; Zeitschrift ; Online-Ressource
Erscheinungsform

Zeitschrift

Sprache

Englisch 

Erscheinungsland

Vereinigte Staaten, USA, United States 

Medientyp

Online-Ausgabe

IDN

019684703

Letzte Änderung

30-04-24

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Berlin FHI
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2.1974 - 4.1980; 7.1989(1990)
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nein
Berlin SBB Haus Potsdamer Str
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Bestand
Signatur
Zsn 19051-9,2
Standort
Außenmagazin
Bestand
1971(1972)
Fernleihe
ja, Kopie und Ausleihe
Signatur
Zsn 50066
Standort
Außenmagazin
Bestand
4.1980
Fernleihe
ja, Kopie und Ausleihe
Signatur
Zsn 19051;A-5,4
Standort
Außenmagazin
Bestand
6.1986(1987)
Fernleihe
ja, Kopie und Ausleihe
Berlin UBTU
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Bestand
Signatur
4Za1411
Standort
Zeitschriften-Freihandmagazin
Bestand
2.1974
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Bochum UB
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Bestand
Signatur
ZSC 297
Bestand
[1.]1971(1972); 6.1987
[Standort: Witten]
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Clausthal-Z. UB
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Bestand
Signatur
Zb 1171 Bd 9
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Signatur
Zb 1853a Bd 2,2
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Dresden SLUB, BB Drepunct
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Bestand
Bestand
6.1987,1-4
[enth. in: Journal of vacuum science & technology / A]
Fernleihe
ja, Kopie, elektronischer Versand an Endnutzer möglich
Frankfurt/M B Naturwiss.
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Bestand
Signatur
Alphabetische Aufstellung
Standort
in: Journal of vacuum science and technology / A
Bestand
6.1986(1987)
Fernleihe
nein
Frankfurt/M UB/ZB
Link zur Standortkarte mit weiterführenden Bibliotheksinformationen[HES, DE-30]
Bestand
Signatur
in: ZsNq 813
Bestand
2.1974(=2,2)
[Klammerzählung = Bandangabe zur Signatur]
Fernleihe
ja, Kopie und Ausleihe
Göttingen SUB
Link zur Standortkarte mit weiterführenden Bibliotheksinformationen[NIE, DE-7]
Bestand
Signatur
vorh. in: ZB 39111
Bestand
2.1974
[Enthalten in: Japanese journal of applied physics / Supplement]
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Signatur
vorh. in: ZB 57284
Bestand
6.1986(1987)
[Enthalten in: Journal of vacuum science & technology / A]
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Hagen FernUB
Link zur Standortkarte mit weiterführenden Bibliotheksinformationen[NRW, DE-708]
Bestand
Signatur
UKC/ICSS
Standort
00
Bestand
2.1974
Fernleihe
ja, Kopie und Ausleihe
Standort
03
Bestand
[Spätere Kongresse nur im Monographienkatalog]
Fernleihe
ja, Kopie und Ausleihe
Hamburg Physikal. Institute
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Bestand
Signatur
Einzelsignatur
Standort
18/47
Bestand
1.1971(1972) - 2.1974
Fernleihe
nein
Karlsruhe KIT-Bibliothek
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Bestand
Signatur
79 A 352
Bestand
3.1977
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Kassel UB, Sto OZW
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Bestand
Signatur
98 Z 2981
Bestand
2.1974,Kyoto
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Signatur
98 Z 2982
Bestand
2. Ex. 3.1977,Wien.1.3
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Würzburg UB
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Bestand
Standort
750 / Standortsignatur: 750/ohne Sign.
Bestand
2.1974; 3.1977
Fernleihe
nein