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Proceedings of the Workshop on Refractory Metal Silicides for VLSI / sponsored by the American Vacuum Soc

New York, NY : Amer. Inst. of Physics 1984

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ZDB-ID

629175-2  

Titel

Proceedings of the Workshop on Refractory Metal Silicides for VLSI / sponsored by the American Vacuum Soc

Körperschaft

Workshop on Refractory Metal Silicides for VLSI 

Erschienen

New York, NY : Amer. Inst. of Physics

Erscheinungsverlauf

Nachgewiesen 2.1984

Frühere/spätere Titel

Forts.:  Workshop on Refractory Metals and Silicides for VLSI: Proceedings of the Workshop on Refractory Metals and Silicides for VLSI 

Forts.:  Workshop on Refractory Metals and Silicides for VLSI: Workshop on Refractory Metals and Silicides for VLSI 

Weitere Titelhinweise

2 in 2,4 von:  [Journal of vacuum science and technology / B]  (ISSN: 2166-2746) 

Standardnummern

OCLC-Nr.: 183390278

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau  ;  530 Physik 

Erscheinungsform

Zeitschrift

Veröffentlichungsform

Kongressbericht

Erscheinungsland

Vereinigte Staaten, USA, United States 

Medientyp

Druckausgabe

IDN

013642243

Letzte Änderung

03-09-22

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Zsn 19051;B- 2,4
Standort
Außenmagazin
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2.1984
Fernleihe
ja, Kopie und Ausleihe
Bochum UB
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Bestand
Signatur
ZSC 297
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Zeitschriften
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2.1984
[Standort: Witten]
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Dresden SLUB, BB Drepunct
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Bestand
Signatur
19 4 02080
Bestand
2.1984
[enth. in: Journal of vacuum science & technology / B]
Fernleihe
ja, Kopie und Ausleihe
Göttingen SUB
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Bestand
Signatur
vorh. in: ZB 57285
Bestand
2.1984
[Enthalten in: Journal of vacuum science & technology / B]
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Kassel UB, Sto OZW
Link zur Standortkarte mit weiterführenden Bibliotheksinformationen[HES, DE-34-90]
Bestand
Signatur
98 ZB 193[B
Bestand
2.1984
[Klammerzaehlung = Zaehlung von "Journal of vacuum science and technology" u. Bestandteil d. Signatur]
Fernleihe
ja, nur Papierkopie