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Journal of vacuum science and technology : JVST ; an AVS journal / publ. by the Society through the American Institute of Physics. B, Nanotechnology & microelectronics

New York, NY : Inst. 1983 -

ZDB-ID

797726-8  

Titel

Journal of vacuum science and technology : JVST ; an AVS journal / publ. by the Society through the American Institute of Physics

Unterreihe

B, Nanotechnology & microelectronics : materials, processing, measurement, & phenomena

Körperschaft
Erschienen

New York, NY : Inst.

Erscheinungsverlauf

2.Ser. 1.1983 -

Anmerkungen

Hauptsacht. bis 28.2010,1: Journal of vacuum science & technology

2. Zusatz anfangs: the official journal of the AVS

Sachl. Benennung bis 8.1990: Microelectronics processing and phenomena

Sachl. Benennung 9.1991 - 20.2002: Microelectronics and nanometer structures

Sachl. Benennung 21.2003 - 28.2010,1: An international journal devoted to microelectronics and nanometer structures

Abkürzungstitel: JVTBD9

Abkürzungstitel: J. Vac. Sci. Technol. B

1. Zusatz ab 2.Ser. 12.1994

Frühere/spätere Titel
Andere Ausgaben

Erscheint auch als Online-Ausgabe, 1983-1990:  [Journal of vacuum science & technology / B]  (ISSN: 2327-9877) 

Erscheint auch als Online-Ausgabe, 1991-2010:  Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures  (ISSN: 1520-8567) 

Erscheint auch als Online-Ausgabe, 2011-:  Journal of vacuum science & technology. B, Nanotechnology & microelectronics  (ISSN: 2166-2754) 

Erscheint auch als CD-ROM-Ausgabe:  [Journal of vacuum science & technology / A & B] 

Weitere Titelhinweise

In 1,2=4; in 2,2=5; in 4,1=6; in 5,3=7; in 6,2=8; in 7,2=9 von:  Molecular Beam Epitaxy Workshop: Proceedings of the ... Molecular Beam Epitaxy Workshop 

In 1,4=1983; in 3,1=1984; in 4,1=29; in 5,1=30; in 6,1=31; in 6,6=32; in 7,6=33 von:  International Symposium on Electron, Ion, and Photon Beams: Proceedings of the ... International Symposium on Electron, Ion, and Photon Beams  (ISSN: 1063-9586) 

In 2,4=14; in 4,6=16 von:  Symposium on Coatings for Large Scale Metallurgical, Optical, and Electronic Applications: Proceedings of the annual Symposium of the Greater New York Chapter of the AVS on Coatings for Large-Scale Metallurgical, Optical, and Electronic Applications 

In 3,2=3 von:  International Conference on Molecular Beam Epitaxy: Proceedings of the ... International Conference on Molecular Beam Epitaxy 

1,3=10; in 2,3=11; in 3,4=12; in 4,4=13; in 5,4=14; in 6,4=15; in 7,4=16; in 8,4=18 von:  Conference on the Physics and Chemistry of Semiconductor Interfaces: Proceedings of the ... annual Conference on the Physics and Chemistry of Semiconductor Interfaces  (ISSN: 1063-8997) 

In 2,4=2 von:  Workshop on Refractory Metal Silicides for VLSI: Proceedings of the Workshop on Refractory Metal Silicides for VLSI 

In 3,6=3; in 4,6=4; in 5,6=5 von:  Workshop on Refractory Metals and Silicides for VLSI: Proceedings of the Workshop on Refractory Metals and Silicides for VLSI 

In 3,5=1; in 5,5=2; in 7,5=3 von:  Topical Meeting on the Microphysics of Surfaces, Beams and Adsorbates: Proceedings of the ... Topical Meeting on the Microphysics of Surfaces, Beams and Adsorbates 

6,6=6 von:  Workshop on Metals, Dielectrics, and Interfaces for VLSI: Proceedings of the Workshop on Metals, Dielectrics, and Interfaces for VLSI 

1,2=1 von:  Modulated semiconductor structures 

Standardnummern

ISSN: 2166-2746; 1071-1023; 0734-211X

OCLC-Nr.: 263603465

Coden

JVTBD9

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik 

Weitere Klassifikation(en):
Regensburger Verbundklassifikation (rvk): UA 4922

Schlagwörter:
Vakuumtechnik ; Zeitschrift
Erscheinungsform

Zeitschrift

Sprache
Medientyp

Druckausgabe

IDN

014416840

Letzte Änderung

12-11-24

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Zf2332
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2.Ser. 1.1983 - 3.1985
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Zf2332
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2.Ser. 4.1986 - 17.1999
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1993 - 2005
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[1993;1997]
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Z 54b
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Bestandslücken
[L=24.2006]
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85 / Standortsignatur: 85/UA 4922
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1.1983 - 38.2020
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8.1990 - 19.2001
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Zeitschrift B
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B108
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1.1983 -
[Standort: 1983-1992 (Siem-Mag., Reg. KF 1); 1993- (LS)]
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ja, nur Papierkopie
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Zsn 19051;B
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2.Ser. 1.1983 - 23.2005
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37 PB 78
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Außenmagazin
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2.Ser. 1.1983 - 8.1990
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1.1983 - 19.2001
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UA 4922
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Freihandbestand
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2.Ser. 1.1983 - 23.2005
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4Z8282
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Zeitschriften-Freihandmagazin
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2.Ser. 1.1983 - 17.1999
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2.Ser. 18.2000-
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17 QD000 J930
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4.1986 - 9.1991; 18.2000 - 31.2013
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ZSC 297
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Zeitschriften
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2.Ser. 1.1983 - 18.2000
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ja, Kopie und Ausleihe
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Zeitschrift
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Bs68-MA
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1.1983 - 40.2022
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ja, nur Papierkopie
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MS Z 302
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ZFM
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1.1983 - 31.2013
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ja, nur Papierkopie
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15z phy 078 jc/836
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Magazinturm-E02
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20.2002 -
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phy 009
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Aktuelle Ausgaben
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A7822
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Zb 1171B
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2.Ser.1.1983 - 31.2013,1
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SM / Standortsignatur: ZQ 120b
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2.Ser. 1.1983 - 21.2003
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26.2008 - 29.2011
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nein
Signatur
19 4 02080
Bestand
2.Ser. 1.1983 - 37.2019
Bestandslücken
[N=8.1990,3; 9.1991,1 u.3-4]
Fernleihe
ja, Kopie und Ausleihe
Signatur
phy z j 601
Standort
44
Bestand
2.Ser. 1.1983 - 20.2002; 21.2003,1-3u.5-6
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ja, nur Papierkopie
Signatur
67 Z 23
Standort
D30
Bestand
2.Ser. 1.1983 - 28.2010
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ja, nur Papierkopie
Standort
09GP / Standortsignatur: 09GP/Z 121
Bestand
1.1983 - 32.2014
[Bis 21. 1982 ungeteilt. - Auch als 2. ser. bezeichnet]
Fernleihe
ja, Kopie und Ausleihe
Signatur
Alphabetische Aufstellung
Bestand
3.1985 - 16.1998,1-4u.6
Fernleihe
nein
Signatur
ZsNq 1071
Bestand
2.Ser. 1.1983 - 2.1984
Fernleihe
ja, Kopie und Ausleihe
Bestand
2.Ser. 1.1983 -
Bestandslücken
[N=26.2008,2; 28.2010,5]
Fernleihe
nein
Bestand
2.Ser. 1.1983 -
Fernleihe
nein
Signatur
Frei 91: ZJ 901
Bestand
17.1999 - 27.2009
Fernleihe
nein
Signatur
ZB 57285
Standort
MAG-PHYS
Bestand
1.1983,1 - 1.1983,4; 2.1984; 3.1985,1 - 3.1985,6; 4.1986,1 - 4.1986,6; 5.1987,1 - 5.1987,6; 6.1988,1 - 6.1988,6; 7.1989,1 - 7.1989,6; 8.1990,1 - 8.1990,6; 9.1991,1 - 9.1991,6; 10.1992,1 - 10.1992,6; 11.1993,1 - 11.1993,3; 11.1993,6; 12.1994 - 31.2013
Fernleihe
ja, Kopie und Ausleihe
Signatur
II 653345 (ehem. HB)
Standort
UBG-DEPO: DHB
Bestand
1.1983 - 8.1990
Fernleihe
nein
Signatur
660/UA 4550
Standort
UB 665
Bestand
2.Ser. 1.1983 - 7.1989; 9.1991 - 23.2005
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Signatur
ZZU/JVST
Standort
03
Bestand
1.1983 - 22.2004
Fernleihe
ja, Kopie und Ausleihe
Standort
18/48
Bestand
2.Ser. 1.1983 - 11.1993
Fernleihe
nein
Bestand
- 2.Ser. 12.1994 - 28.2010
Fernleihe
nein
Signatur
Einzelsignatur
Standort
18/47
Bestand
2.Ser. 1.1983 - 19.2001
Fernleihe
nein
Bestand
Ser. 2, 4.1986 - 2001
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Signatur
ZO 1826 Haus2
Bestand
1.1983 -
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Signatur
Z 10437
Standort
90
Bestand
2.Ser. 1.1983 - 31.2013,6
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Signatur
Alphabetische Aufstellung
Standort
UZ
Bestand
5.1987 - 7.1989
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Standort
Mag
Bestand
3.1985,1-4; 4.1986; 5.1987,1(S.1-241u.378-468)u.2-6; 6.1988 - 7.1989; 8.1990,1
[Mikrofiche-Ausg.]
Fernleihe
nein
Signatur
Z 1975
Bestand
2.Ser. 1.1983 - 22.2004
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Signatur
PHY Z 1738
Standort
ZSPHY
Bestand
2.Ser. 1.1983 - 21.2003
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Signatur
Z 633a
Standort
CN LS / Standortsignatur: phys
Bestand
1.1983 - 34.2016
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Bestand
2.Ser. 1.1983 - 20.2002
Fernleihe
nein
Signatur
98 ZB 193[B
Bestand
- 2. Ser. 1.1983 - 16.1998
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Signatur
Fachbibliothek Physik
Standort
16
Bestand
1.1983 - 14.1996
Fernleihe
nein
Bestand
2.Ser. 1.1983 - 9.1991
Fernleihe
nein
Signatur
phy 2/j93
Bestand
8.1990 - 27.2009
Fernleihe
ja, Kopie und Ausleihe
Signatur
ZZ 50350
Bestand
2.Ser. 1.1983 - 19.2001
Bestandslücken
[L]
Fernleihe
ja, Kopie und Ausleihe
Signatur
2287 BZ:B
Standort
Mag
Bestand
[Bestand lückenhaft]
Fernleihe
ja, Kopie und Ausleihe
Signatur
ZZ 6930
Standort
MIN / UG
Bestand
2. Ser. 1.1983 - 4.1983
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Signatur
4 Zs 02368
Bestand
2.Ser. 1.1983 - 4.1986
Fernleihe
ja, Kopie und Ausleihe
Signatur
f 148/B
Bestand
1. 1983 - 36.2018
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Standort
0001 / Standortsignatur: 0001/ZB 7090(B
Bestand
1.1983 - 21.2003
Fernleihe
ja, Kopie und Ausleihe
Standort
1705 / Standortsignatur: 1705/Z 7020
Bestand
7.1989,1-4; 8.1990 - 31.2013
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Standort
1801 / Standortsignatur: 1801/UA 4922
Bestand
1.1983 - 4.1986; 18.2000 - 27.2009
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Standort
0001 / Standortsignatur: 0001/ZB 6042
Bestand
26.2008 - 31.2013
[Mit Beil.: Letters]
Fernleihe
ja, Kopie und Ausleihe
Signatur
Standort in der Bibliothek erfragen
Bestand
2.Ser. 1.1983 - 20.2002
Fernleihe
nein
Signatur
Mag/Z5122-2,B
Bestand
1.1983 - 34.2016
Fernleihe
ja, Kopie und Ausleihe
Signatur
Z phy 078 j ZA 4565-F,2
Bestand
1.1983 - 4.1986
Fernleihe
ja, Kopie und Ausleihe
Signatur
Z 707
Standort
N phy
Fernleihe
ja, Kopie und Ausleihe
Signatur
67j4-B
Standort
40
Bestand
2.Ser. 1.1983 - 41.2023
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Signatur
50-85J2-B
Standort
Adolf-Reichwein-Straße, Ebene -1, Zeitschriften
Bestand
1.1983 - 31.2013
Fernleihe
ja, Kopie und Ausleihe
Bestand
2.Ser. 16.1998 - 20.2002,1
Fernleihe
nein
Bestand
2.Ser. 1.1983 - 11.1993,1
Fernleihe
nein
Signatur
2Za 7179
Standort
Vaih / Standortsignatur: G 1
Bestand
2.Ser. 1.1983 - 24.2006
Fernleihe
ja, Kopie und Ausleihe
Bestand
1.1983 - 29.2011
[Standort: Bereichsbibliothek Naturwissenschaften]
Fernleihe
nein
Signatur
6186
Standort
Z
Bestand
2.Ser. 1.1983 - 31.2013
Fernleihe
ja, Kopie und Ausleihe
Signatur
08859.020 (Online-Ausgabe im Bereich der Universität Wien verfügbar)
Standort
Magazin Nordbergstraße
Bestand
1.1983 -
Fernleihe
nein
Standort
750 / Standortsignatur: 750/ohne Sign.
Bestand
1.1983-
Fernleihe
nein
Signatur
67J8-B
Standort
86
Bestand
2.Ser. 1.1983 - 20.2002
Fernleihe
ja, Kopie und Ausleihe
Signatur
AQ 947
Bestand
25.2007 - 37.2019,1
Fernleihe
ja, nur Papierkopie