Inhalt

Suche

Neue Suche

Optical, laser microlithography / SPIE, the International Society for Optical Engineering

Bellingham, Wash. : SPIE [1.]1988; 2.1989 - 8.1995

Diesen Titel auf die Merkliste setzen

Optionen

Exportieren MARC21xml JSON-LD Turtle RDF/XML Feedback

Bestellen

Mehr Titelinformationen

ZDB-ID

1144981-0

Titel

Optical, laser microlithography / SPIE, the International Society for Optical Engineering

Körperschaft

SPIE, The International Society for Optical Engineering

Erschienen

Bellingham, Wash. : SPIE

Erscheinungsverlauf

[1.]1988; 2.1989 - 8.1995

Frühere/spätere Titel

Vorg. u Forts.: Optical microlithography

Weitere Titelhinweise

[1]=922; 2=1088; 3=1264; 4=1463; 5=1674; 6=1927; 7=2197; 8=2440 von: SPIE, The International Society for Optical Engineering: Proceedings (ISSN: 0361-0748)

Standardnummern

OCLC-Nr.: 1367970097

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 660 Technische Chemie

Erscheinungsform

Zeitschrift

Veröffentlichungsform

Kongressbericht

Sprache

Englisch

Erscheinungsland

Vereinigte Staaten, USA, United States

Medientyp

Druckausgabe

IDN

016736710

Letzte Änderung

01-12-17

SchließenxKostenpflichtige Dokumentlieferdienste: Lieferung von Aufsatzkopien und Druckausgaben zur Ausleihe

Bitte beachten Sie: Die ZDB bietet lediglich den Link zum Bestellsystem und übernimmt keinerlei Gewähr für eine erfolgreiche Bestellung. Richten Sie Fragen bitte ausschließlich an die Auskunft Ihrer Heimatbibliothek. Bitte beachten Sie die Bedingungen der einzelnen Anbieter.