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ZDB-ID

1433435-5  

Titel

Materials science in semiconductor processing

Erschienen

Oxford [u.a.] : Pergamon, Elsevier Science

Erscheinungsverlauf

1.1998 - 16.2013; Vol. 17.2014 -

Anmerkungen

Ab 2014 mit durchgehender Heftzählung, die als Vol. bez. wird

Andere Ausgaben

Erscheint auch als Online-Ausgabe:  Materials science in semiconductor processing  (ISSN: 1873-4081) 

ist Beilage zu

Supplement zu 1.1998,1/2 Beil. zu:  Solid state electronics  (ISSN: 0038-1101) 

Standardnummern

ISSN: 1369-8001

OCLC-Nr.: 845081792

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik  ;  620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau 

Weitere Klassifikation(en):
Systematik der TUB München (stub): ELT 072z ; ELT 270z

Schlagwörter:
Halbleitertechnologie ; Werkstoffkunde ; Zeitschrift
Erscheinungsform

Zeitschrift

Sprache
Medientyp

Druckausgabe

IDN

019275463

Letzte Änderung

12-11-24

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