2552721-6  

Mikro-Nano-Integration : Beiträge des ... GMM-Workshops / VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik (GMM)

Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik 

Berlin ; Offenbach : VDE-Verl.

1.2009-5. (8. - 9. Oktober 2014)

Ersch. jährl.

CD-ROMs 12 cm

Fortgesetzt als Monografie

Hauptsacht. vom Behältnis

Zugl. Bd. von:  Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik: GMM-Fachbericht  (ISSN: 1432-3419) 

Zugl. Bd. von:  Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik: GMM-Fachbericht  (ISSN: 1432-3419) 

OCLC number: 723796909

DDC subject groups: 620 Engineering & machine engineering 

DDC numbers: 621 ; 620.5

German subject headings:
Mikrosystemtechnik ; Nanotechnologie ; Kongress ; CD-ROM

journal

Congress report

German  ;  English 

Germany, Federal Republic of and Germany since 1990-10-03 

CD/DVD

yearly

1002231655

01-12-17