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Mask technology for integrated circuits and micro-components ... : lectures held at the GMM-Conference ... / Organizer: VDE/VDI-Society Microelectronics, Micro- and Precision Engineering (GMM) ...

Berlin ; Offenbach : VDE-Verl. 1996-1998

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ZDB-ID

3037128-4

Titel

Mask technology for integrated circuits and micro-components ... : lectures held at the GMM-Conference ... / Organizer: VDE/VDI-Society Microelectronics, Micro- and Precision Engineering (GMM) ...

Körperschaft

Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik

Erschienen

Berlin ; Offenbach : VDE-Verl.

Erscheinungsverlauf

1996 - 1998

Anmerkungen

Forts. als Monographie behandelt

30 cm

Frühere/spätere Titel

Vorg.: Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile

Weitere Titelhinweise

Zugl. Bd. von: Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik: GMM-Fachbericht (ISSN: 1432-3419)

Standardnummern

OCLC-Nr.: 722246448

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 621.3 Elektrotechnik, Elektronik

Schlagwörter:
Maskentechnik ; Kongress

Erscheinungsform

Zeitschrift

Veröffentlichungsform

Kongressbericht

Sprache

Erscheinungsland

Medientyp

Druckausgabe

IDN

955619300

Letzte Änderung

11-09-20

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Augsburg SuStB

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Berlin FU E-Medien

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Berlin SBB Haus Potsdamer Str

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Braunschweig HAUM

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Braunschweig Landesmuseum

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Cottbus UB Cottbus-Senftenberg

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Dresden SLUB, ZB

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Eichstätt UB

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Erfurt UB

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Erlangen-Nürnberg UB

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Florenz Kunsthist. Inst.

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Frankfurt/M UAS

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Gießen UB

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Hannover GWLB

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Heidelberg UB

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Ingolstadt THI

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Karlsruhe KIT-Bibliothek

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Kiel UB

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Köthen HSB HSA

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München BLfD Bibliothek

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München BSB

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München HMB

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München UB LMU

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München ZI Kunstgeschichte

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Neubiberg UniBundeswehr

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Neuburg/Donau SB

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Paris DFK

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Passau UB

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1.1893 - 20.1978

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Regensburg IOS WGL

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Regensburg OTHBR

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Regensburg SB

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Regensburg UB

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Rom Bibliotheca Hertziana MPI

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Vechta UB

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Würzburg UB

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