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Developments in semiconductor microlithography / Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers

Washington, DC [u.a.] : Soc. 1976 -

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ZDB-ID

245942-5

Titel

Developments in semiconductor microlithography / Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers

Körperschaft

Society of Photo-optical Instrumentation Engineers

Erschienen

Washington, DC [u.a.] : Soc.

Erscheinungsverlauf

1.1976 -

Anmerkungen

Nebent.: Semiconductor microlithography

Weitere Titelhinweise

1=80; 2=100; 3=135; 4=174; 5=221; 6=275 von: Society of Photo-optical Instrumentation Engineers: Proceedings (ISSN: 0038-7355)

Standardnummern

OCLC-Nr.: 1070631121

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

Erscheinungsform

Zeitschrift

Erscheinungsland

Vereinigte Staaten, USA, United States

Medientyp

Druckausgabe

IDN

011488816

Letzte Änderung

03-09-22

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