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Journal of vacuum science & technology : JVST ; the official journal of the American Vacuum Society / publ. by the American Institute of Physics. B, Microelectronics processing and phenomena

New York, NY : Inst. 1983-1990

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ZDB-ID

1475429-0  

Titel

Journal of vacuum science & technology : JVST ; the official journal of the American Vacuum Society / publ. by the American Institute of Physics

Unterreihe

B, Microelectronics processing and phenomena

Körperschaft

American Vacuum Society 

Erschienen

New York, NY : Inst.

Erscheinungsverlauf

2. Ser. 1.1983 - 2. Ser. 8.1990

Anmerkungen

Abkürzungstitel: JVTBD9

Abkürzungstitel: J. Vac. Sci. Technol. B

Online-Ressource

Gesehen am 15. Dezember 2016

Frühere/spätere Titel

Vorg.:  Journal of vacuum science & technology 

Fortgesetzt durch:  Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures 

Andere Ausgaben

Erscheint auch als Druck-Ausgabe:  [Journal of vacuum science and technology / B]  (ISSN: 2166-2746) 

Erscheint auch als CD-ROM-Ausgabe:  [Journal of vacuum science & technology / A & B] 

Standardnummern

Linking ISSN: 0734-211X

ISSN: 2327-9877

OCLC-Nr.: 1368160498

Coden

JVTBD9

URL

https://ezb.ur.de/?1475429-0  [EZB] 

http://avs.scitation.org/journal/jvb  [Verlag] 

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik 

Weitere Klassifikation(en):
Systematik der TUB München (stub): ELT 279z ; PHY 101z

Schlagwörter:
Halbleitertechnologie ; Zeitschrift ; Online-Ressource
Dünnschichttechnik ; Zeitschrift ; Online-Ressource
Vakuumphysik ; Zeitschrift ; Online-Ressource
Erscheinungsform

Zeitschrift

Sprache

Englisch 

Erscheinungsland

Vereinigte Staaten, USA, United States 

Medientyp

Online-Ausgabe

IDN

019684703

Letzte Änderung

30-04-24

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Würzburg UB
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