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Journées d'Etudes sur la Gravure Sèche en Microélectronique / Société Française du Vide

Paris : Soc. [1.]1981; 2.1983

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ZDB-ID

52408-6

Titel

Journées d'Etudes sur la Gravure Sèche en Microélectronique / Société Française du Vide

Körperschaft

Journées d'Etudes sur la Gravure Sèche en Microélectronique

Erschienen

Paris : Soc.

Erscheinungsverlauf

[1.]1981; 2.1983

Frühere/spätere Titel

Forts.: Symposium International sur la Gravure Sèche et le Dépot Plasma en Microélectronique: Symposium International sur la Gravure Sèche et le Dépot Plasma en Microélectronique

Weitere Titelhinweise

2=218,Suppl. von: Le vide, les couches minces (ISSN: 0042-5281)

Standardnummern

OCLC-Nr.: 647868144

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik

Erscheinungsform

Zeitschrift

Veröffentlichungsform

Kongressbericht

Erscheinungsland

Frankreich

Medientyp

Druckausgabe

IDN

010459456

Letzte Änderung

03-09-22

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