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Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagungsbericht / Fachtagung Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine. VDI-VDE-Gesellschaft Feinwerktechnik
Fachtagung Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine
Gesellschaft Feinwerktechnik
Verein Deutscher Ingenieure
Düsseldorf : VDI-Verl.
Nachgewiesen 1984(1985) - 1989
Forts. als Monographie behandelt
1984=555; 1985=584; 1986=621; 1987=666; 1988=720, 1989=795 von: Verein Deutscher Ingenieure: VDI-Berichte (ISSN: 0083-5560)
OCLC-Nr.: 1184809559
DDC-Sachgruppen der ZDB: 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Zeitschrift
Kongressbericht
Deutsch
Deutschland
Druckausgabe
jährlich
013644858
03-09-22