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Ion implantation in semiconductors and other materials : proceedings of the International Conference on Ion Implantation in Semiconductors and other Materials

New York, NY [u.a.] : Plenum Pr. 3.1972(1973)

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ZDB-ID

629202-1

Titel

Ion implantation in semiconductors and other materials : proceedings of the International Conference on Ion Implantation in Semiconductors and other Materials

Körperschaft

International Conference on Ion Implantation in Semiconductors and Other Materials

Erschienen

New York, NY [u.a.] : Plenum Pr.

Erscheinungsverlauf

3.1972(1973)

Frühere/spätere Titel

Vorg. u Forts.: Ion implantation in semiconductors

Standardnummern

OCLC-Nr.: 183226833

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik

Erscheinungsform

Zeitschrift

Veröffentlichungsform

Kongressbericht

Erscheinungsland

Vereinigte Staaten, USA, United States

Medientyp

Druckausgabe

IDN

013642456

Letzte Änderung

03-09-22

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