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Journal of microlithography, microfabrication and microsystems : JM3

Bellingham, Wash. : Spie 2002-2006

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ZDB-ID

3220998-8

Titel

Journal of microlithography, microfabrication and microsystems : JM3

Erschienen

Bellingham, Wash. : Spie

Erscheinungsverlauf

Vol. 1, no. 01 (April 2002)-vol. 5, no. 04 (October 2006)

Anmerkungen

Abweichender Titel: JM3

Abkürzungstitel: J. Microlith., Microfab., Microsyst.

Online-Ressource

Gesehen am 11.08.25

Frühere/spätere Titel

Fortgesetzt durch: Journal of micro/nanolithography, MEMS and MOEMS

Andere Ausgaben

Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Journal of microlithography, microfabrication and microsystems (ISSN: 1537-1646)

Standardnummern

ISSN: 1817-6461

OCLC-Nr.: 1531976515

URL

https://ezb.ur.de/?3220998-8 [EZB]

https://www.spiedigitallibrary.org/journ... [Verlag]

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau ; 004 Informatik

Erscheinungsform

Zeitschrift

Sprache

Englisch

Erscheinungsland

Vereinigte Staaten, USA, United States

Medientyp

Online-Ausgabe

IDN

1373551054

Letzte Änderung

18-08-25

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