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Ion implantation : equipment and techniques; proceedings of the ... international conference / International Conference on Ion Implantation Equipment and Techniques

Berlin, West ; Heidelberg [u.a.] : Springer 1983

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ZDB-ID

797898-4

Titel

Ion implantation : equipment and techniques; proceedings of the ... international conference / International Conference on Ion Implantation Equipment and Techniques

Körperschaft

International Conference on Ion Implantation Equipment and Techniques

Erschienen

Berlin, West ; Heidelberg [u.a.] : Springer

Erscheinungsverlauf

4.1982(1983)

Frühere/spätere Titel

Vorg. u Forts.: Ion implantation equipment and techniques

Weitere Titelhinweise

4=11 von: Springer series in electrophysics (ISSN: 0172-5734)

Standardnummern

OCLC-Nr.: 183399761

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik

Weitere Klassifikation(en):
Regensburger Verbundklassifikation (rvk): UP 7500

Erscheinungsform

Zeitschrift

Veröffentlichungsform

Kongressbericht

Erscheinungsland

Deutschland

Medientyp

Druckausgabe

IDN

014418088

Letzte Änderung

23-08-23

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