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Mask technology for integrated circuits and micro-components ... : lectures held at the GMM-Conference ... / Organizer: VDE/VDI-Society Microelectronics, Micro- and Precision Engineering (GMM) ...

Berlin ; Offenbach : VDE-Verl. 1996-1998

ZDB-ID

3037128-4  

Titel

Mask technology for integrated circuits and micro-components ... : lectures held at the GMM-Conference ... / Organizer: VDE/VDI-Society Microelectronics, Micro- and Precision Engineering (GMM) ...

Erschienen

Berlin ; Offenbach : VDE-Verl.

Erscheinungsverlauf

1996 - 1998

Anmerkungen

Forts. als Monographie behandelt

30 cm

Weitere Titelhinweise
Standardnummern

OCLC-Nr.: 722246448

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 621.3 Elektrotechnik, Elektronik 

Schlagwörter:
Maskentechnik ; Kongress
Erscheinungsform

Zeitschrift

Veröffentlichungsform

Kongressbericht

Sprache
Erscheinungsland
Medientyp

Druckausgabe

IDN

955619300

Letzte Änderung

11-09-20

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2.1989
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ZA 71145
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2. Aufl. 1.1993
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Haus2
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1.1989
[1 als 2. Aufl. 1993]
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