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Developments in semiconductor microlithography / Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers

Washington, DC [u.a.] : Soc. 1976 -

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ZDB-ID

245942-5  

Titel

Developments in semiconductor microlithography / Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers

Körperschaft

Society of Photo-optical Instrumentation Engineers 

Erschienen

Washington, DC [u.a.] : Soc.

Erscheinungsverlauf

1.1976 -

Anmerkungen

Nebent.: Semiconductor microlithography

Weitere Titelhinweise

1=80; 2=100; 3=135; 4=174; 5=221; 6=275 von:  Society of Photo-optical Instrumentation Engineers: Proceedings  (ISSN: 0038-7355) 

Standardnummern

OCLC-Nr.: 1070631121

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau 

Erscheinungsform

Zeitschrift

Erscheinungsland

Vereinigte Staaten, USA, United States 

Medientyp

Druckausgabe

IDN

011488816

Letzte Änderung

03-09-22

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Erscheinungsjahr

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Berlin SBB Haus Potsdamer Str
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Bestand
Signatur
Zsn 77606
Bestand
1.1990 -
[Jahrgänge bis einschließlich 2010 im Außenmagazin]
Fernleihe
ja, Kopie und Ausleihe
Signatur
Zsn 77606
Bestand
Beil. zu 2.1991,1u.6-11; 9.1998,12; 10.1999,1u.4u.5
Fernleihe
ja, Kopie und Ausleihe
Signatur
Zsn 77606
Bestand
Festh. zu 23.2012,7
Fernleihe
ja, Kopie und Ausleihe
Bonn Inst. Int. Privatrecht
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Bestand
Signatur
Sb 1/15
Bestand
1.1990 - 26.2015
Fernleihe
nein
Darmstadt ULB-Stadtmitte
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Bestand
Signatur
J:PE 155
Standort
1. Obergeschoss
Bestand
13.2002 - 19.2008
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Dresden SLUB, ZB
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Bestand
Signatur
Y. 4. 658
Bestand
5.1994 - 11.2000
[[N=8.1997,5-12]]
Fernleihe
ja, Kopie, elektronischer Versand an Endnutzer möglich
Düsseldorf ULB
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Bestand
Signatur
jur z e 200
Standort
81
Bestand
2.1991 -
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Eisenstadt HAW Burgenland
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Bestand
Signatur
PE 155
Standort
Hauptbibliothek Eisenstadt, Zeitschriften Eisenstadt
Bestand
29.2018 -
Fernleihe
ja, Kopie, elektronischer Versand an Endnutzer möglich
Signatur
00/PE 155
Standort
Hauptbibliothek Eisenstadt, Magazin Keller Eisenstadt
Bestand
11.2000 - 26.2015
Fernleihe
ja, Kopie, elektronischer Versand an Endnutzer möglich
Signatur
01/PE 155
Standort
Hauptbibliothek Eisenstadt, Magazin Erdgeschoss Eisenstadt
Bestand
27.2016 - 28.2017
Fernleihe
ja, Kopie, elektronischer Versand an Endnutzer möglich
Frankfurt/M DNB
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Bestand
Signatur
DZb 90/1055 (ab 1997 nur in DBL)
Bestand
ab 1997 nur in DBL
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Freiburg UB
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Bestand
Signatur
RE PCB/S-18
Bestand
1.1990 - 7.1996
Fernleihe
ja, Kopie und Ausleihe
Göttingen Juristische ZB
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Bestand
Signatur
XXV, 1737
Standort
7/037
Bestand
11.2000 - 35.2024; 36.2025 -
[+ Sonderhefte 2012: Festheft ad multos annos und 2017: Festheft Georg Wilhelm zum 75er]
Fernleihe
nein
Graz FH Joanneum
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Bestand
Signatur
PU 2350.330 E193
Standort
Graz West (Eggenberg) library, Fachliteratur
Bestand
1998 - 2011; 2019 - 2024
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Graz TU
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Bestand
Signatur
ZII 130495
Standort
Technische Universität Graz, Universitätsbibliothek, Hauptbibliothek - Magazin Zeitschriften
Bestand
13.2002,10 - 14.2003
Bestandslücken
[L=13]
Fernleihe
ja, Kopie und Ausleihe
Graz Universität
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Bestand
Signatur
HB54 E 100
Standort
RESOWI-Bibliothek, Zeitschriften REWI, 1. UG
Bestand
1.1990 -
[aktuelle Hefte liegen ungebunden im EG auf]
Bestandslücken
[N=2-4.2024]
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Hamburg MPI IntPrivatrecht
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Bestand
Signatur
Öster. 2589
Bestand
1.1990 -
Fernleihe
nein
Innsbruck ULB Tirol
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Bestand
Standort
ReWi Fakultät, Fachbibliothek Recht, Innrain 52, Zi.2035
Bestand
1.1990 -
[Beil. Ecolex-script in entsprechenden Jg. mitgebunden]
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Standort
ReWi Fakultät, Bibliothek für Zivilgerichtliches Verfahren, Innrain 52, Zi.2060
Bestand
1.1990 - 25.2014
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Standort
ReWi Fakultät, Bibliothek für Finanzrecht, Innrain 36
Bestand
1.1990 - 25.2014
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Standort
ReWi Fakultät, Bibliothek für Römisches Recht, Innrain 52, Zi.2105
Bestand
13.2002
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Standort
ReWi Fakultät, Bibliothek für Arbeits- und Sozialrecht, Innrain 52, Zi.3060
Bestand
1.1990 - 25.2014; 27.2016 - 35.2024
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Standort
ReWi Fakultät, Bibliothek für Öffentliches Recht, Staats- und Verwaltungslehre, Innrain 52d, 6. Stock Zi. 40623
Bestand
1.1990 - 25.2014
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Klagenfurt UB HB
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Bestand
Signatur
II 96047
Standort
Main library, Magazin
Bestand
1.1990 - 23.2012
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Leipzig DNB
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Bestand
Signatur
ZB 96811
Bestand
4.1993 -
[Ab 2021 Einzelheftnachweis]
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Leipzig UB
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Bestand
Signatur
PE 155
Standort
Rewi / Standortsignatur: Z 95-34
Bestand
6.1995 - 12.2001
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Linz Johannes Kepler Univ.
Link zur Standortkarte mit weiterführenden Bibliotheksinformationen[WEU, AT-UBL]
Bestand
Signatur
56069-C
Standort
Library Juridicum, Library Juridicum: Journals 3rd floor
Bestand
1.1990 -
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Signatur
56069-C
Standort
Library Juridicum, Library Juridicum: Journals 2nd floor
Bestand
1.1990 -
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Signatur
56069-C
Standort
Library Juridicum, Library Juridicum: Journals 4th floor
Bestand
1.1990 - 35.2024
[Zeitschriften 4.OG]
Bestandslücken
[N=6.1995]
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Signatur
56069-C
Standort
Library Juridicum, Institute of Public International Law and International Relations
Bestand
3.1992 - 26.2015
[Institut Völkerrecht]
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Signatur
56069-C
Standort
Main Library, Closed Stacks 1
Bestand
13.2002; 16.2005
Bestandslücken
[L=13.2002; 16.2005]
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Signatur
56069-C
Standort
Library Juridicum, Institute of Civil Law
Bestand
1.1990 - 15.2004
[Abt. Zivilrechtsdogmatik]
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Signatur
56069-C
Standort
Library Juridicum, Institute of Civil Law
Bestand
1.1990 - 22.2011
[Abt. Wirtschaftsprivatrecht]
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Signatur
56069-C
Standort
Library Juridicum, Institute of Business Law
Bestand
1.1990 - 11.2000
[Institut Unternehmensrecht]
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Linz Oö. Landesbibliothek
Link zur Standortkarte mit weiterführenden Bibliotheksinformationen[WEU, AT-OOeLB]
Bestand
Signatur
II-16387
Standort
Oö. Landesbibliothek, Zeitschriften 300
Bestand
2017 -
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Signatur
II-16387
Standort
Oö. Landesbibliothek, Magazin nicht entlehnbar
Bestand
2011 - 2016
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Mannheim UB
Link zur Standortkarte mit weiterführenden Bibliotheksinformationen[BAW, DE-180]
Bestand
Signatur
300 PA 1625
Standort
300
Bestand
1.1990 -
Fernleihe
ja, Kopie und Ausleihe
München BSB
Link zur Standortkarte mit weiterführenden Bibliotheksinformationen[BAY, DE-12]
Bestand
Signatur
4 Z 91.89
Standort
Standortsignatur: Hbzs 574-7 a = Neueste Hefte
Bestand
1.1990 -
Fernleihe
ja, Kopie und Ausleihe
München MPIs Innovation/TaxLaw
Link zur Standortkarte mit weiterführenden Bibliotheksinformationen[BAY, DE-M382]
Bestand
Bestand
1.1990 -
Fernleihe
nein
München UB LMU
Link zur Standortkarte mit weiterführenden Bibliotheksinformationen[BAY, DE-19]
Bestand
Standort
0309 / Standortsignatur: 0309/GM III/40
Bestand
13.2002 - 24.2013
Fernleihe
nein
Osnabrück UB
Link zur Standortkarte mit weiterführenden Bibliotheksinformationen[NIE, DE-700]
Bestand
Signatur
Österreich Z 12086
Standort
J-EU
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Signatur
Z 12086
Standort
J-WR
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Passau UB
Link zur Standortkarte mit weiterführenden Bibliotheksinformationen[BAY, DE-739]
Bestand
Standort
00 / Standortsignatur: 00/PE 155.5
Bestand
2000 - 2003
Fernleihe
ja, Kopie und Ausleihe
Rostock UB
Link zur Standortkarte mit weiterführenden Bibliotheksinformationen[HAM, DE-28]
Bestand
Signatur
PE 155
Standort
28/BB3-ZM2
Fernleihe
ja, Kopie und Ausleihe
Salzburg Paris Lodron Univ.
Link zur Standortkarte mit weiterführenden Bibliotheksinformationen[WEU, AT-UBS]
Bestand
Signatur
Z 789
Standort
TB Toskanatrakt
Bestand
1.1990 -
[Aktuelles Heft im Umlauf Prof. Gruber!]
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Signatur
Z 789
Standort
TB Toskanatrakt
Bestand
1.1990 - 2021
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Signatur
V 789
Standort
TB Firmian-Salm-Haus
Bestand
4.1993 -
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Trier UB
Link zur Standortkarte mit weiterführenden Bibliotheksinformationen[NRW, DE-385]
Bestand
Signatur
z12158
Standort
50
Bestand
1.1990 - 23.2012
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Wien Österr. NB
Link zur Standortkarte mit weiterführenden Bibliotheksinformationen[WEU, AT-OeNB]
Bestand
Signatur
1315812-C
Standort
Benützungsbereich Heldenplatz (NEU), Magazin Heldenplatz (PER)
Bestand
1.1990 -
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Wien TU
Link zur Standortkarte mit weiterführenden Bibliotheksinformationen[WEU, AT-UBTUW]
Bestand
Signatur
360215
Standort
E058 RTI Support (Research, Technology, Innovation), 0582 - RTI Support (Research, Technology, Innovation)
Bestand
2011 - 29.2018
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Wien Uni Bib Archivw
Link zur Standortkarte mit weiterführenden Bibliotheksinformationen[WEU, AT-UBW]
Bestand
Signatur
ZFT.144/33
Standort
Fachbibliothek Rechtswissenschaften
Bestand
1.1990 -
[Ungebundene Jahrgänge im Zeitschriftenlesesaal benutzbar]
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Standort
Fachbibliothek Wirtschaftswissenschaften und Mathematik
Bestand
1.1990 - 9.1998
[Zeitschrift VWL / gelb]
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Signatur
ZFT.144/33/Prof.Zöchling-Jud
Standort
Fachbibliothek Rechtswissenschaften
Bestand
1.1990 - 17.2006
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Signatur
ZFT.144/33
Standort
Fachbibliothek Rechtswissenschaften
Bestand
1.1990 -
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Signatur
II-719817
Standort
Hauptbibliothek
Bestand
1.1990 -
[ungebundene Jahrgänge im Zeitschriftensaal benützbar]
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Signatur
ZFT.144/33
Standort
Fachbibliothek Rechtswissenschaften
Bestand
1.1990 -
[Ungebundene Jahrgänge im Zeitschriftenlesesaal benutzbar]
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Signatur
ZFT.144/33
Standort
Fachbibliothek Rechtswissenschaften
Bestand
1.1990 - 34.2023
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Signatur
ZFT.144/33
Standort
Fachbibliothek Rechtswissenschaften
Bestand
1.1990 - 34.2023
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Signatur
ZFT.144/33/Prof.Eberhard
Standort
Fachbibliothek Rechtswissenschaften
Bestand
1.1990 - 33.2022
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Signatur
PER.E19
Standort
Fachbibliothek Wirtschaftswissenschaften und Mathematik
Bestand
1.1990 - 8.1997
[ZS BWL]
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Signatur
ZFT.144/33
Standort
Fachbibliothek Rechtswissenschaften
Bestand
1.1990 - 22.2011
[Reserveexemplar nicht entlehnbar teilweise ohne Strichcode]
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Wien Univ. Bodenkultur
Link zur Standortkarte mit weiterführenden Bibliotheksinformationen[WEU, AT-UBBW]
Bestand
Signatur
Z-1453
Standort
Main Library, Magazin
Bestand
1.1990 - 19.2008
[Beil. mitgebunden]
Bestandslücken
[N=16,6.8.12; 17,3]
Fernleihe
nein
Wien Wirtschaftsuni
Link zur Standortkarte mit weiterführenden Bibliotheksinformationen[WEU, AT-UBWW]
Bestand
Signatur
66495-C
Standort
Bibliothekszentrum LC, UG (Ebene -2) Zeitschriften
Bestand
1.1990 - 26.2015
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Signatur
D3-Z18
Standort
D3 Recht, Zeitschriften
Bestand
1.1990 -
Fernleihe
ja, nur Papierkopie
Würzburg UB
Link zur Standortkarte mit weiterführenden Bibliotheksinformationen[BAY, DE-20]
Bestand
Standort
250 / Standortsignatur: 250/PU 2130
Bestand
21.2010-
Fernleihe
nein