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Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology : JM3

Bellingham, WA : Spie 2021 -

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ZDB-ID

3056313-6

Titel

Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology : JM3

Erschienen

Bellingham, WA : Spie

Erscheinungsverlauf

Vol. 20, no. 1 (January 2021)-

Anmerkungen

Online-Ressource

Gesehen am 19.06.2023

Frühere/spätere Titel

Fortsetzung von: Journal of micro/nanolithography, MEMS and MOEMS

Standardnummern

ISSN: 2708-8340

OCLC-Nr.: 1368746285

URL

https://www.spiedigitallibrary.org/journ... [Verlag]

https://ezb.ur.de/?3056313-6 [EZB]

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau ; 004 Informatik

Erscheinungsform

Zeitschrift

Sprache

Englisch

Erscheinungsland

Vereinigte Staaten, USA, United States

Medientyp

Online-Ausgabe

Erscheinungsfrequenz

vierteljährlich

IDN

1228839042

Letzte Änderung

12-02-25

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