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Microelectronic engineering : an international journal of semiconductor manufacturing technology

Amsterdam [u.a.] : Elsevier 1983 -

ZDB-ID

605230-7  

Titel

Microelectronic engineering : an international journal of semiconductor manufacturing technology

Erschienen

Amsterdam [u.a.] : Elsevier

Amsterdam : North-Holland Publ. Co. [anfangs]

Tokyo : Ohmsha [früher]

Erscheinungsverlauf

1.1983(1983/85) - 88.2011; Vol. 89.2012 -

Anmerkungen

Ab 2012 mit durchgehender Heftzählung, die als Vol. bez. wird

Andere Ausgaben

Erscheint auch als Online-Ausgabe:  Microelectronic engineering 

Weitere Titelhinweise

7,2/4=1; 12=2 von:  Electron and optical beam testing of integrated circuits 

3,1/4=1985; 5,1/4=1986; 6,1/4=13; 9,1/4=14 von:  Microcircuit engineering  (ISSN: 0893-5157) 

Standardnummern

ISSN: 0167-9317

OCLC-Nr.: 630232822

Coden

MIENEF

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau 

Schlagwörter:
Halbleitertechnologie ; Zeitschrift
Erscheinungsform

Zeitschrift

Sprache
Erscheinungsland
Medientyp

Druckausgabe

Erscheinungsfrequenz

vierteljährlich

IDN

013486985

Letzte Änderung

12-11-24

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Kws 250,8 ZB 3765 (eingeb.)
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1.1997 - 2.1998
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MAG
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Z 1996 B 1247
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MAG
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1.1997 - 2.1998
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in @ZB 9928
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1.1997,09
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Z 1996 B 1247
Bestand
[Bestand s. Fortsetzungskartei und/oder elektronisches Lokalsystem]
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Z sow 427 ZB 2248
Bestand
1.1997 - 2.1998,3
[Der Hauptzeitschrift beigebunden]
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