3117333-0  

Journal of vacuum science & technology : JVST ; an AVS journal

B, Microelectronics and nanometer structures

American Vacuum Society 

New York : Published for the Society by the American Institute of Physics

2nd ser., Volume 9, no. 1 (Jan./Feb. 1991)-2nd ser., Volume 28, no. 1 (Jan./Feb. 2010)

Nebent.: Microelectronics and nanometer structures

Nebent.: JVST B

Online-Ressource

Fortsetzung von:  [Journal of vacuum science & technology / B] 

Fortgesetzt durch:  Journal of vacuum science & technology. B, Nanotechnology & microelectronics 

Erscheint auch als Druck-Ausgabe:  [Journal of vacuum science and technology / B]  (ISSN: 2166-2746) 

Linking ISSN: 1071-1023

ISSN: 1520-8567

OCLC-Nr.: 1368940278

https://ezb.ur.de/?3117333-0  [EZB] 

http://avs.scitation.org/journal/jvb  [Verlag] 

DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik 

Weitere Klassifikation(en):
Regensburger Verbundklassifikation (rvk): UA 1000

Zeitschrift

Englisch 

Vereinigte Staaten, USA, United States 

Online-Ausgabe

1256321419

27-08-25