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Journal of micro/nanolithography, MEMS and MOEMS / Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers

Bellingham, Wash. : Spie 2002-2020

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ZDB-ID

2088795-4  

Titel

Journal of micro/nanolithography, MEMS and MOEMS / Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers

Erschienen

Bellingham, Wash. : Spie

Erscheinungsverlauf

1.2002-vol. 19, no. 4 (October 2020)

Anmerkungen

Abweichender Titel: JM3

Hauptsacht. bis 5.2006: Journal of microlithography, microfabrication, and microsystems

Online-Ressource

Gesehen am 19.06.2023

Frühere/spätere Titel

Fortgesetzt durch:  Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology 

Andere Ausgaben

Erscheint auch als Druck-Ausgabe, bis 5.2006:  Journal of microlithography, microfabrication and microsystems  (ISSN: 1537-1646) 

Erscheint auch als Druck-Ausgabe, ab 6.2007:  Journal of micro/nanolithography, MEMS and MOEMS  (ISSN: 1932-5150) 

Standardnummern

ISSN: 1932-5134

OCLC-Nr.: 1368107739

URL

https://ezb.ur.de/?2088795-4  [EZB] 

https://www.spiedigitallibrary.org/journ...  [Verlag] 

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau  ;  004 Informatik 

Erscheinungsform

Zeitschrift

Sprache

Englisch 

Erscheinungsland

Vereinigte Staaten, USA, United States 

Medientyp

Online-Ausgabe

IDN

023891769

Letzte Änderung

19-04-24

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Offenburg HS
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Saarbrücken INM WGL
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Saarbrücken MPI Informatik
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SPIE
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Bestand
Bestand
[Zugang nur für lizenzierte Einrichtungen]
URL
http://nanolithography.spiedigitallibrar... [1.2002 -] 
Bestand
1.2002 -
[Zugang nur für lizenzierte Einrichtungen]
URL
http://spiedigitallibrary.org/index.aspx [2009 -] 
Stuttgart UB
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https://ezb.ur.de/detail.phtml?bibid=UBS... [EZB Link] 
https://ezb.ur.de/ReadMe?bibid=UBS&owner... [Readme] 
https://ezb.ur.de/ReadMe?bibid=UBS&owner... [Readme] 
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