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Journal of microlithography, microfabrication and microsystems : JM3 / SPIE, the International society for Optical Engineering

Bellingham, Wash. : SPIE 1.2002 - 5.2006

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ZDB-ID

2161291-2

Titel

Journal of microlithography, microfabrication and microsystems : JM3 / SPIE, the International society for Optical Engineering

Erschienen

Bellingham, Wash. : SPIE

Erscheinungsverlauf

1.2002 - 5.2006

Anmerkungen

Abkürzungstitel: J. Microlith., Microfab., Microsyst.

Frühere/spätere Titel

Forts.: Journal of micro/nanolithography, MEMS and MOEMS

Andere Ausgaben

Erscheint auch als Online-Ausgabe: Journal of micro/nanolithography, MEMS and MOEMS (ISSN: 1932-5134)

Standardnummern

ISSN: 1537-1646

OCLC-Nr.: 834933973

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau ; 004 Informatik

Erscheinungsform

Zeitschrift

Sprache

Englisch

Erscheinungsland

Vereinigte Staaten, USA, United States

Medientyp

Druckausgabe

IDN

026461528

Letzte Änderung

01-12-17

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