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Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagungsbericht / Fachtagung Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine. VDI-VDE-Gesellschaft Feinwerktechnik

Düsseldorf : VDI-Verl. 1985-1989

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ZDB-ID

629493-5

Titel

Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagungsbericht / Fachtagung Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine. VDI-VDE-Gesellschaft Feinwerktechnik

Körperschaft

Fachtagung Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine

Gesellschaft Feinwerktechnik

Verein Deutscher Ingenieure

Erschienen

Düsseldorf : VDI-Verl.

Erscheinungsverlauf

Nachgewiesen 1984(1985) - 1989

Anmerkungen

Forts. als Monographie behandelt

Weitere Titelhinweise

1984=555; 1985=584; 1986=621; 1987=666; 1988=720, 1989=795 von: Verein Deutscher Ingenieure: VDI-Berichte (ISSN: 0083-5560)

Standardnummern

OCLC-Nr.: 1184809559

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

Schlagwörter:
Maskentechnik ; Kongress

Erscheinungsform

Zeitschrift

Veröffentlichungsform

Kongressbericht

Sprache

Deutsch

Erscheinungsland

Deutschland

Medientyp

Druckausgabe

Erscheinungsfrequenz

jährlich

IDN

013644858

Letzte Änderung

03-09-22

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