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Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile : Tagung ...

Düsseldorf : VDI-Verl. 1993-1995

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ZDB-ID

2313362-4

Titel

Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile : Tagung ...

Erschienen

Düsseldorf : VDI-Verl.

Erscheinungsverlauf

1993-1995

Anmerkungen

23 cm

Frühere/spätere Titel

Vorg.: Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine

Forts.: Mask technology for integrated circuits and micro-components ...

Weitere Titelhinweise

Zugl. Bd. von: Verein Deutscher Ingenieure: VDI-Berichte (ISSN: 0083-5560)

Standardnummern

OCLC-Nr.: 722424355

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 050 Zeitschriften, fortlaufende Sammelwerke

Schlagwörter:
Maskentechnik ; Kongress

Erscheinungsform

Zeitschrift

Veröffentlichungsform

Kongressbericht

Sprache

Deutsch

Erscheinungsland

Deutschland

Medientyp

Druckausgabe

IDN

942228936

Letzte Änderung

01-02-19

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