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Mask technology for integrated circuits and micro-components ... : lectures held at the GMM-Conference ... / Organizer: VDE/VDI-Society Microelectronics, Micro- and Precision Engineering (GMM) ...

Berlin ; Offenbach : VDE-Verl. 1996 - 1998

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ZDB-ID

3037128-4

Titel

Mask technology for integrated circuits and micro-components ... : lectures held at the GMM-Conference ... / Organizer: VDE/VDI-Society Microelectronics, Micro- and Precision Engineering (GMM) ...

Körperschaft

Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik

Erschienen

Berlin ; Offenbach : VDE-Verl.

Erscheinungsverlauf

1996 - 1998

Anmerkungen

Forts. als Monographie behandelt

30 cm

Frühere/spätere Titel

Vorg.: Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile

Weitere Titelhinweise

Zugl. Bd. von: Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik: GMM-Fachbericht (ISSN: 1432-3419)

Standardnummern

OCLC-Nr.: 722246448

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 621.3 Elektrotechnik, Elektronik

Schlagwörter:
Maskentechnik ; Kongress

Erscheinungsform

Zeitschrift

Veröffentlichungsform

Kongressbericht

Sprache

Englisch

Erscheinungsland

Deutschland

Medientyp

Druckausgabe

IDN

955619300

Letzte Änderung

11-09-20

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