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Journal of vacuum science & technology : JVST ; an AVS journal / publ. by the Society through the American Institute of Physics. B, Nanotechnology & microelectronics

New York, NY : AIP Publishing 2010 -

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ZDB-ID

3117331-7

Titel

Journal of vacuum science & technology : JVST ; an AVS journal / publ. by the Society through the American Institute of Physics

Unterreihe

B, Nanotechnology & microelectronics : materials, processing, measurement, & phenomena

Körperschaft

American Vacuum Society

Erschienen

New York, NY : AIP Publishing

Erscheinungsverlauf

2nd ser., Volume 28, Issue 1, (January 2010)-

Anmerkungen

Nebent.: Nanotechnology and microelectronics

Nebent.: JVST B

Online-Ressource

Frühere/spätere Titel

Fortsetzung von: Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures

Andere Ausgaben

Erscheint auch als Druck-Ausgabe: [Journal of vacuum science and technology / B] (ISSN: 2166-2746)

Standardnummern

Linking ISSN: 2166-2746

ISSN: 2166-2754

OCLC-Nr.: 1368589312

URL

https://ezb.ur.de/?3117331-7 [EZB]

https://pubs.aip.org/avs/jvb [Verlag]

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik

Weitere Klassifikation(en):
Regensburger Verbundklassifikation (rvk): UA 1000

Schlagwörter:
Vakuumtechnik

Erscheinungsform

Zeitschrift

Sprache

Englisch

Erscheinungsland

Vereinigte Staaten, USA, United States

Medientyp

Online-Ausgabe

IDN

1256321184

Letzte Änderung

27-08-25

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