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Symposium International sur la Gravure Sèche et le Dépot Plasma en Microélectronique / Société Française du Vide

Paris : SFV 1985-1987

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ZDB-ID

56283-X

Titel

Symposium International sur la Gravure Sèche et le Dépot Plasma en Microélectronique / Société Française du Vide

Körperschaft

Symposium International sur la Gravure Sèche et le Dépot Plasma en Microélectronique

Erschienen

Paris : SFV

Erscheinungsverlauf

3.1985 - 4.1987[?],

Frühere/spätere Titel

Vorg.: Journées d'Etudes sur la Gravure Sèche en Microélectronique: Journées d'Etudes sur la Gravure Sèche en Microélectronique

Weitere Titelhinweise

3=229,Suppl. von: Le vide, les couches minces (ISSN: 0042-5281)

Standardnummern

OCLC-Nr.: 647887358

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik

Erscheinungsform

Zeitschrift

Veröffentlichungsform

Kongressbericht

Erscheinungsland

Frankreich

Medientyp

Druckausgabe

IDN

010495819

Letzte Änderung

03-09-22

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