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Proceedings of the Workshop on Metals, Dielectrics, and Interfaces for VLSI

New York, NY : American Inst. of Physics 1988

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ZDB-ID

1067227-8

Titel

Proceedings of the Workshop on Metals, Dielectrics, and Interfaces for VLSI

Körperschaft

Workshop on Metals, Dielectrics, and Interfaces for VLSI

Erschienen

New York, NY : American Inst. of Physics

Erscheinungsverlauf

6.1988 nachgewiesen

Weitere Titelhinweise

6=6,6 von: [Journal of vacuum science and technology / B] (ISSN: 2166-2746)

Standardnummern

OCLC-Nr.: 311556016

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 004 Informatik ; 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau ; 670 Industrielle Fertigung

Erscheinungsform

Zeitschrift

Veröffentlichungsform

Kongressbericht

Erscheinungsland

Vereinigte Staaten, USA, United States

Medientyp

Druckausgabe

IDN

01598530X

Letzte Änderung

03-09-22

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