Inhalt

Suche

Neue Suche

Optical microlithography / Conference on Optical Microlithography Technology. International Society for Optical Engineering. International Society for Hybrid Microelectronics

Bellingham, Wash. : [Verlag nicht ermittelbar] 1982 -

Diesen Titel auf die Merkliste setzen

Optionen

Exportieren MARC21xml JSON-LD Turtle RDF/XML Feedback

Bestellen

Mehr Titelinformationen

ZDB-ID

592512-5

Titel

Optical microlithography / Conference on Optical Microlithography Technology. International Society for Optical Engineering. International Society for Hybrid Microelectronics

Körperschaft

Conference on Optical Microlithography Technology

Society of Photo-optical Instrumentation Engineers

SPIE, The International Society for Optical Engineering

Erschienen

Bellingham, Wash. : [Verlag nicht ermittelbar]

Erscheinungsverlauf

1.1982 - 6.1987; 9.1996 -

Anmerkungen

Nebent. 1.1982 - 6.1987: Optical microlithography technology

Frühere/spätere Titel

1988 - 8.1995: Optical, laser microlithography

Weitere Titelhinweise

1=334; 2=394 von: Society of Photo-optical Instrumentation Engineers: Proceedings (ISSN: 0038-7355)

3=470; 4=538; 5=633; 6=772; 9=2726; 10=3051; 11=3334; 12=3679 von: SPIE, The International Society for Optical Engineering: Proceedings (ISSN: 0361-0748)

Standardnummern

OCLC-Nr.: 916458217

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

Erscheinungsform

Zeitschrift

Veröffentlichungsform

Kongressbericht

Sprache

Englisch

Erscheinungsland

Vereinigte Staaten, USA, United States

Medientyp

Druckausgabe

IDN

01337933X

Letzte Änderung

01-12-17

SchließenxKostenpflichtige Dokumentlieferdienste: Lieferung von Aufsatzkopien und Druckausgaben zur Ausleihe

Bitte beachten Sie: Die ZDB bietet lediglich den Link zum Bestellsystem und übernimmt keinerlei Gewähr für eine erfolgreiche Bestellung. Richten Sie Fragen bitte ausschließlich an die Auskunft Ihrer Heimatbibliothek. Bitte beachten Sie die Bedingungen der einzelnen Anbieter.