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Journal of micro/nanolithography, MEMS and MOEMS / Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers

Bellingham, Wash. : Spie 2007-2020

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ZDB-ID

2088795-4

Titel

Journal of micro/nanolithography, MEMS and MOEMS / Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers

Erschienen

Bellingham, Wash. : Spie

Erscheinungsverlauf

Vol. 6, no. 1 (January 2007)-vol. 19, no. 4 (October 2020)

Anmerkungen

Abweichender Titel: JM3

Online-Ressource

Gesehen am 11.08.25

Frühere/spätere Titel

Fortsetzung von: Journal of microlithography, microfabrication and microsystems

Fortgesetzt durch: Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology

Andere Ausgaben

Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Journal of micro/nanolithography, MEMS and MOEMS (ISSN: 1932-5150)

Standardnummern

ISSN: 1932-5134

OCLC-Nr.: 1368107739

URL

https://ezb.ur.de/?2088795-4 [EZB]

https://www.spiedigitallibrary.org/journ... [Verlag]

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau ; 004 Informatik

Erscheinungsform

Zeitschrift

Sprache

Englisch

Erscheinungsland

Vereinigte Staaten, USA, United States

Medientyp

Online-Ausgabe

IDN

023891769

Letzte Änderung

11-08-25

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