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Journal of micro/nanolithography, MEMS and MOEMS / Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers

Bellingham, Wash. : SPIE 6.2007 -

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ZDB-ID

2408595-9

Titel

Journal of micro/nanolithography, MEMS and MOEMS / Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers

Erschienen

Bellingham, Wash. : SPIE

Erscheinungsverlauf

6.2007 -

Anmerkungen

Nebent.: JM3

Frühere/spätere Titel

Vorg.: Journal of microlithography, microfabrication and microsystems

Andere Ausgaben

Erscheint auch als Online-Ausgabe: Journal of micro/nanolithography, MEMS and MOEMS (ISSN: 1932-5134)

Standardnummern

ISSN: 1932-5150

OCLC-Nr.: 649611823

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau ; 004 Informatik

Erscheinungsform

Zeitschrift

Sprache

Englisch

Erscheinungsland

Vereinigte Staaten, USA, United States

Medientyp

Druckausgabe

IDN

987445286

Letzte Änderung

11-02-20

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