Inhalt

Suche

Neue Suche

Journal of micro/nanolithography, MEMS and MOEMS / Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers

Bellingham, Wash. : SPIE 2007 -

Diesen Titel auf die Merkliste setzen

Optionen

Exportieren MARC21xml JSON-LD Turtle RDF/XML Feedback

Bestellen

Mehr Titelinformationen

ZDB-ID

2408595-9

Titel

Journal of micro/nanolithography, MEMS and MOEMS / Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers

Erschienen

Bellingham, Wash. : SPIE

Erscheinungsverlauf

6.2007 -

Anmerkungen

Nebent.: JM3

Frühere/spätere Titel

Vorg.: Journal of microlithography, microfabrication and microsystems

Andere Ausgaben

Erscheint auch als Online-Ausgabe: Journal of micro/nanolithography, MEMS and MOEMS (ISSN: 1932-5134)

Standardnummern

ISSN: 1932-5150

OCLC-Nr.: 649611823

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau ; 004 Informatik

Erscheinungsform

Zeitschrift

Sprache

Englisch

Erscheinungsland

Vereinigte Staaten, USA, United States

Medientyp

Druckausgabe

IDN

987445286

Letzte Änderung

11-02-20

SchließenxKostenpflichtige Dokumentlieferdienste: Lieferung von Aufsatzkopien und Druckausgaben zur Ausleihe

Bitte beachten Sie: Die ZDB bietet lediglich den Link zum Bestellsystem und übernimmt keinerlei Gewähr für eine erfolgreiche Bestellung. Richten Sie Fragen bitte ausschließlich an die Auskunft Ihrer Heimatbibliothek. Bitte beachten Sie die Bedingungen der einzelnen Anbieter.