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ZDB-ID

2029689-7  

Titel

Materials science in semiconductor processing

Erschienen

Amsterdam [u.a.] : Elsevier Science

Erscheinungsverlauf

1.1998 - 16.2013; Vol. 17.2014 -

Anmerkungen

Ab 2014 mit durchgehender Heftzählung, die als Vol. bez. wird

Online-Ressource

Gesehen am 11.05.23

Andere Ausgaben

Erscheint auch als Druck-Ausgabe:  Materials science in semiconductor processing  (ISSN: 1369-8001) 

Standardnummern

ISSN: 1873-4081

OCLC-Nr.: 1368066093

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik  ;  620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau 

Weitere Klassifikation(en):
Systematik der TUB München (stub): ELT 072z ; ELT 270z

Schlagwörter:
Halbleitertechnologie ; Werkstoffkunde ; Zeitschrift ; Online-Ressource
Erscheinungsform

Zeitschrift

Sprache
Erscheinungsland
Medientyp

Online-Ausgabe

IDN

020975678

Letzte Änderung

13-11-24

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ja, nur Papierkopie - elektronische Übertragung zwischen Bibliotheken ausgeschlossen
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1.1998 - 152.2022
[Der Online-Zugriff auf dieses Produkt wird im Rahmen eines DEAL-Konsortiums bereitgestellt und durch die MPDL und die Technische Informationsbibliothek (TIB) Hannover organisiert]
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ja, nur Papierkopie
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153.2023 -
[Der Online-Zugriff auf dieses Produkt wird im Rahmen eines DEAL-Konsortiums bereitgestellt und durch die MPDL und die Technische Informationsbibliothek (TIB) Hannover organisiert]
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1.1998 - 152.2022
[Der Online-Zugriff auf dieses Produkt wird im Rahmen eines DEAL-Konsortiums bereitgestellt und durch die MPDL und die Technische Informationsbibliothek (TIB) Hannover organisiert]
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lizenziert: 153.2023 -
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29.2015 - 72.2017
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1.1998 - 152.2022
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[Campuslizenz (bitte das entsprechende Readme in der EZB beachten)]
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29.2015 - 72.2017
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29.2015 - 72.2017
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1.1998 - 152.2022
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Bestand
lizenziert: 1.1998 - 152.2022
[Campuslizenz TU Ilmenau]
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lizenziert: 153.2023 -
[Campuslizenz TU Ilmenau]
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Bestand
1.1998 - 152.2022
Fernleihe
ja, nur Papierkopie (nur Inland)
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Bestand
lizenziert: 1.1998,1 -
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lizenziert: 1.1998,1 -
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lizenziert: 1.1998,1 -
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9.2006 - 72.2017
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nein
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1.1998 - 152.2022
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1.1998 - 152.2022
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153.2023 -
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29.2015 - 72.2017
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1.1998 - 152.2022
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