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2575614-X
GMM-Fachbericht / VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik
Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik
Berlin ; Offenbach : VDE-Verl.
66.2010 -
Nebent.: Fachbericht der VDE-VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik
Ersch. unregelmäßig
Ersch. teils auch als CD-ROM-Ausg.
Predecessor: Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik: GMM-Fachbericht
Einzelne Bd. zugl. Bd. von: Mikro-Nano-Integration
Authorised ISSN: 1432-3419
ISSN: 1432-3419
OCLC number: 724754426
DDC subject groups: 620 Engineering & machine engineering
series
German
Germany, Federal Republic of and Germany since 1990-10-03
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1007321253
02-05-24