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Journal of vacuum science & technology : JVST ; an AVS journal. B, Microelectronics and nanometer structures

New York : Published for the Society by the American Institute of Physics 1991-2010

ZDB-ID

3117333-0  

Titel

Journal of vacuum science & technology : JVST ; an AVS journal

Unterreihe

B, Microelectronics and nanometer structures

Körperschaft
Erschienen

New York : Published for the Society by the American Institute of Physics

Erscheinungsverlauf

2nd ser., Volume 9, no. 1 (Jan./Feb. 1991)-2nd ser., Volume 28, no. 1 (Jan./Feb. 2010)

Anmerkungen

Nebent.: Microelectronics and nanometer structures

Nebent.: JVST B

Online-Ressource

Andere Ausgaben

Erscheint auch als Druck-Ausgabe:  [Journal of vacuum science and technology / B]  (ISSN: 2166-2746) 

Standardnummern

Linking ISSN: 1071-1023

ISSN: 1520-8567

OCLC-Nr.: 1368940278

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik 

Weitere Klassifikation(en):
Regensburger Verbundklassifikation (rvk): UA 4922

Schlagwörter:
Vakuumtechnik
Erscheinungsform

Zeitschrift

Sprache
Medientyp

Online-Ausgabe

IDN

1256321419

Letzte Änderung

30-04-24

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