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Microelectronic engineering

[S.l.] @ : Elsevier 1.1983 - 88.2011; Vol. 89.2012 -

Nationallizenz

ZDB-ID

1497065-x

Titel

Microelectronic engineering

Erschienen

[S.l.] @ : Elsevier

Erscheinungsverlauf

1.1983 - 88.2011; Vol. 89.2012 -

Anmerkungen

Ab 2012 mit durchgehender Heftzählung, die als Vol. bez. wird

Online-Ressource

Andere Ausgaben

Druckausg.:  Microelectronic engineering 

Standardnummern

ISSN der Parallelausgabe: 0167-9317

ZDB-1-SDJ-5298

OCLC-Nr.: 535489357

Coden

MIENEF

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau 

Schlagwörter:
Halbleitertechnologie ; Zeitschrift
Erscheinungsform

Zeitschrift

Sprache
Erscheinungsland
Medientyp

Online-Ressource

IDN

019897413

Gefördert von

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Microelectronic engineering : an international journal of semiconductor manufacturing technology

Amsterdam [u.a.] : Elsevier 1.1983(1983/85) - 88.2011; Vol. 89.2012 -

ZDB-ID

605230-7

Titel

Microelectronic engineering : an international journal of semiconductor manufacturing technology

Erschienen

Amsterdam [u.a.] : Elsevier

Amsterdam : North-Holland Publ. Co. [anfangs]

Tokyo : Ohmsha [früher]

Erscheinungsverlauf

1.1983(1983/85) - 88.2011; Vol. 89.2012 -

Anmerkungen

Ab 2012 mit durchgehender Heftzählung, die als Vol. bez. wird

Andere Ausgaben

Online-Ausg.:  Microelectronic engineering 

Weitere Titelhinweise

7,2/4=1; 12=2 von:  Electron and optical beam testing of integrated circuits 

3,1/4=1985; 5,1/4=1986; 6,1/4=13; 9,1/4=14 von:  Microcircuit engineering 

Standardnummern

ISSN der Vorlage: 0167-9317

OCLC-Nr.: 630232822

Coden

MIENEF

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau 

Schlagwörter:
Halbleitertechnologie ; Zeitschrift
Erscheinungsform

Zeitschrift

Sprache
Erscheinungsland
Medientyp

Print

Erscheinungsfrequenz

vierteljährlich

IDN

013486985

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