57892-7  

Proceedings of the Workshop on Refractory Metals and Silicides for VLSI

Workshop on Refractory Metals and Silicides for VLSI 

New York, NY : [Verlag nicht ermittelbar]

3.1985 - 5.1987[?]

Vorg.:  Workshop on Refractory Metal Silicides for VLSI: Proceedings of the Workshop on Refractory Metal Silicides for VLSI 

3 in 3,6; 4 in 4,6; 5 in 5,6 von:  [Journal of vacuum science and technology / B]  (ISSN: 2166-2746) 

OCLC-Nr.: 310949060

DDC-Sachgruppen der ZDB: 670 Industrielle Fertigung 

Zeitschrift

Kongressbericht

Vereinigte Staaten, USA, United States 

Druckausgabe

01051094X

03-09-22

57893-9  

Workshop on Refractory Metals and Silicides for VLSI / College of Engineering, University of California, Berkeley

Workshop on Refractory Metals and Silicides for VLSI 

Berkeley, Calif. : [Verlag nicht ermittelbar]

3.1985 -

Vorg.:  Workshop on Refractory Metal Silicides for VLSI: Proceedings of the Workshop on Refractory Metal Silicides for VLSI 

OCLC-Nr.: 637723244

DDC-Sachgruppen der ZDB: 670 Industrielle Fertigung 

Zeitschrift

Kongressbericht

Vereinigte Staaten, USA, United States 

Druckausgabe

010510958

01-12-17