797704-9  

Journal of vacuum science and technology : JVST ; an AVS journal / publ. by the Society through the American Institute of Physics

A, Vacuum, surfaces, & films

American Vacuum Society 

New York, NY : Inst.

2.Ser. 1.1983 -

Hauptsacht. bis 28.2010,1: Journal of vacuum science & technology

Sachl. Benennung bis 20.2002: Vacuum, surfaces, and films

Sachl. Benennung 21.2003 - 28.2010,1: An international journal devoted to vacuum, surfaces, and films

1. Zusatz ab 2.Ser. 12.1994

Vorg.:  Journal of vacuum science & technology 

Erscheint auch als Online-Ausgabe:  [Journal of vacuum science & technology / A]  (ISSN: 1520-8559) 

Erscheint auch als CD-ROM-Ausgabe:  [Journal of vacuum science & technology / A & B] 

1,2=29; 2,2=30; 3,3=31; 4,3=32; 5,4=33; 6,3=34; 7,3=35; 8,3=36; 9,3=37; 10,4=38; 11,4=39 von:  American Vacuum Society: Proceedings of the national symposium of the American Vacuum Society 

In 1,3=2; in 3,1=3; in 4,4=4; in 5,5=5; in 6,4=4; in 7,2=2; usw. von von:  US Workshop on the Physics and Chemistry of Mercury Cadmium Telluride: Proceedings of the ... US Workshop on the Physics and Chemistry of Mercury Cadmium Telluride  (ISSN: 1056-6546) 

In 3,6=12; in 4,6=13 von:  International Conference on Metallurgical Coatings: Proceedings of the ... International Conference on Metallurgical Coatings 

In 5,4=6,1-4 von:  International Conference on Solid Surfaces: Proceedings of the ... International Conference on Solid Surfaces 

2,3=31; 3,5=32; 4,5=33; 6,6=35; 7,5=36; 8,5=37; 11,5=40; 12,5=41; 13,5=42; 14,5=43; 15,5=44; 16,5=45; 17,5=46; 18,5=47; 19,5=48; 20,5=49; 21,5=50; 22,5=51; 23,5=52 von:  American Vacuum Society: Preliminary program 

5,4=10 von:  International Vacuum Congress: Proceedings of the ... International Vacuum Congress 

6,2=2 von:  STM: Proceedings of the ... International Conference on Scanning Tunneling Microscopy 

12,4=40; 13,3=41; 14,3=42; 15,3=43; 16,3=44; 17,4=45; 18,4=46 von:  American Vacuum Society: Papers from the national symposium of the American Vacuum Society 

19,4=47; 21,4=49; 22,4=50; 23,4=51 24,4=52; 25,4=53; 26,4=54; 27,4=55; 28,4=56 von:  American Vacuum Society: Papers from the .. international symposium of AVS 

ISSN: 0734-2101

OCLC-Nr.: 263603462

JVTAD

DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik 

Weitere Klassifikation(en):
Systematik der TUB München (stub): MAS 970z ; PHY 629z
Regensburger Verbundklassifikation (rvk): UA 4921

Schlagwörter:
Oberflächenchemie ; Zeitschrift
Dünnschichttechnik ; Zeitschrift
Vakuumtechnik ; Zeitschrift

Zeitschrift

Englisch 

Vereinigte Staaten, USA, United States 

Druckausgabe

alle zwei Monate

014416670

12-11-24

797726-8  

Journal of vacuum science and technology : JVST ; an AVS journal / publ. by the Society through the American Institute of Physics

B, Nanotechnology & microelectronics : materials, processing, measurement, & phenomena

American Vacuum Society 

New York, NY : Inst.

2.Ser. 1.1983 -

Hauptsacht. bis 28.2010,1: Journal of vacuum science & technology

2. Zusatz anfangs: the official journal of the AVS

Sachl. Benennung bis 8.1990: Microelectronics processing and phenomena

Sachl. Benennung 9.1991 - 20.2002: Microelectronics and nanometer structures

Sachl. Benennung 21.2003 - 28.2010,1: An international journal devoted to microelectronics and nanometer structures

Abkürzungstitel: JVTBD9

Abkürzungstitel: J. Vac. Sci. Technol. B

1. Zusatz ab 2.Ser. 12.1994

Vorg.:  Journal of vacuum science & technology 

Erscheint auch als Online-Ausgabe, 1983-1990:  [Journal of vacuum science & technology / B]  (ISSN: 2327-9877) 

Erscheint auch als Online-Ausgabe, 1991-2010:  Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures  (ISSN: 1520-8567) 

Erscheint auch als Online-Ausgabe, 2011-:  Journal of vacuum science & technology. B, Nanotechnology & microelectronics  (ISSN: 2166-2754) 

Erscheint auch als CD-ROM-Ausgabe:  [Journal of vacuum science & technology / A & B] 

In 1,2=4; in 2,2=5; in 4,1=6; in 5,3=7; in 6,2=8; in 7,2=9 von:  Molecular Beam Epitaxy Workshop: Proceedings of the ... Molecular Beam Epitaxy Workshop 

In 1,4=1983; in 3,1=1984; in 4,1=29; in 5,1=30; in 6,1=31; in 6,6=32; in 7,6=33 von:  International Symposium on Electron, Ion, and Photon Beams: Proceedings of the ... International Symposium on Electron, Ion, and Photon Beams  (ISSN: 1063-9586) 

In 2,4=14; in 4,6=16 von:  Symposium on Coatings for Large Scale Metallurgical, Optical, and Electronic Applications: Proceedings of the annual Symposium of the Greater New York Chapter of the AVS on Coatings for Large-Scale Metallurgical, Optical, and Electronic Applications 

In 3,2=3 von:  International Conference on Molecular Beam Epitaxy: Proceedings of the ... International Conference on Molecular Beam Epitaxy 

1,3=10; in 2,3=11; in 3,4=12; in 4,4=13; in 5,4=14; in 6,4=15; in 7,4=16; in 8,4=18 von:  Conference on the Physics and Chemistry of Semiconductor Interfaces: Proceedings of the ... annual Conference on the Physics and Chemistry of Semiconductor Interfaces  (ISSN: 1063-8997) 

In 2,4=2 von:  Workshop on Refractory Metal Silicides for VLSI: Proceedings of the Workshop on Refractory Metal Silicides for VLSI 

In 3,6=3; in 4,6=4; in 5,6=5 von:  Workshop on Refractory Metals and Silicides for VLSI: Proceedings of the Workshop on Refractory Metals and Silicides for VLSI 

In 3,5=1; in 5,5=2; in 7,5=3 von:  Topical Meeting on the Microphysics of Surfaces, Beams and Adsorbates: Proceedings of the ... Topical Meeting on the Microphysics of Surfaces, Beams and Adsorbates 

6,6=6 von:  Workshop on Metals, Dielectrics, and Interfaces for VLSI: Proceedings of the Workshop on Metals, Dielectrics, and Interfaces for VLSI 

1,2=1 von:  Modulated semiconductor structures 

ISSN: 2166-2746; 1071-1023; 0734-211X

OCLC-Nr.: 263603465

JVTBD9

DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik 

Weitere Klassifikation(en):
Regensburger Verbundklassifikation (rvk): UA 4922

Schlagwörter:
Vakuumtechnik ; Zeitschrift

Zeitschrift

Englisch 

Vereinigte Staaten, USA, United States 

Druckausgabe

014416840

12-11-24

2234510-3  

Biointerphases / American Vacuum Society

American Vacuum Society 

Melville, NY : AIP

New York, NY : AVS

Heidelberg ; Berlin : Springer [2006-2013]

1.2006 -

Abkürzungstitel: Biointerphases

Online-Ressource

Titelzusatz früher: an open access journal for the Biomaterials Interface community

Gesehen am 25.04.2023

Erscheint auch als Druck-Ausgabe:  Biointerphases  (ISSN: 1934-8630) 

Autorisierte ISSN: 1559-4106

ISSN: 1559-4106

OCLC-Nr.: 1165450647

https://biointerphases.springeropen.com/  [Verlag; 1.2006 - 8.2013] kostenfrei zugänglich

https://pubs.aip.org/avs/bip  [Verlag; 1.2006 - 8.2013] kostenfrei zugänglich

https://pubs.aip.org/avs/bip  [Verlag; 9.2014 -] 

https://ezb.ur.de/?2234510-3  [EZB] 

http://d-nb.info/979654033  

DDC-Sachgruppen der ZDB: 570 Biowissenschaften, Biologie 

Sondersammelgebiet: FID-BIODIV-DE-30

Zeitschrift

Englisch 

Vereinigte Staaten, USA, United States 

Online-Ausgabe

Archivierung/Langzeitarchivierung gewährleistet ; Bestandsführende Institution:  Frankfurt/M DNB 

979654033

13-11-24

219313-9  

Journal of vacuum science & technology : the official journal of the American Vacuum Society / publ. by the American Institute of Physics

American Vacuum Society 

New York, NY : Inst.

1.1964 - 21.1982

Hauptsacht. bis 9.1972: The journal of vacuum science and technology

Abkürzungstitel: J. Vac. Sci. Technol.

Abkürzungstitel: J of Vacuum Sci. Technol.

Abkürzungstitel: J. Vac. Sci. & Technol. (USA)

Forts.:  [Journal of vacuum science and technology / A] 

Forts.:  [Journal of vacuum science and technology / B] 

Erscheint auch als Online-Ausgabe:  Journal of vacuum science & technology  (ISSN: 2331-1754) 

ISSN: 0022-5355

OCLC-Nr.: 631715014

JVSTA

DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik 

Weitere Klassifikation(en):
Systematik der TUB München (stub): MAS 970z

Schlagwörter:
Vakuumtechnik

Zeitschrift

Englisch 

Vereinigte Staaten, USA, United States 

Druckausgabe

011291850

12-11-24

3117331-7  

Journal of vacuum science & technology : JVST ; an AVS journal / publ. by the Society through the American Institute of Physics

B, Nanotechnology & microelectronics : materials, processing, measurement, & phenomena

American Vacuum Society 

New York, NY : AIP Publishing

2nd ser., Volume 28, Issue 1, (January 2010)-

Nebent.: Nanotechnology and microelectronics

Nebent.: JVST B

Online-Ressource

Fortsetzung von:  Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures 

Erscheint auch als Druck-Ausgabe:  [Journal of vacuum science and technology / B]  (ISSN: 2166-2746) 

Linking ISSN: 2166-2746

ISSN: 2166-2754

OCLC-Nr.: 1368589312

https://ezb.ur.de/?3117331-7  [EZB] 

https://pubs.aip.org/avs/jvb  [Verlag] 

DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik 

Weitere Klassifikation(en):
Regensburger Verbundklassifikation (rvk): UA 4922

Schlagwörter:
Vakuumtechnik

Zeitschrift

Englisch 

Vereinigte Staaten, USA, United States 

Online-Ausgabe

1256321184

30-04-24

3117333-0  

Journal of vacuum science & technology : JVST ; an AVS journal

B, Microelectronics and nanometer structures

American Vacuum Society 

New York : Published for the Society by the American Institute of Physics

2nd ser., Volume 9, no. 1 (Jan./Feb. 1991)-2nd ser., Volume 28, no. 1 (Jan./Feb. 2010)

Nebent.: Microelectronics and nanometer structures

Nebent.: JVST B

Online-Ressource

Fortsetzung von:  [Journal of vacuum science & technology / B] 

Fortgesetzt durch:  Journal of vacuum science & technology. B, Nanotechnology & microelectronics 

Erscheint auch als Druck-Ausgabe:  [Journal of vacuum science and technology / B]  (ISSN: 2166-2746) 

Linking ISSN: 1071-1023

ISSN: 1520-8567

OCLC-Nr.: 1368940278

https://ezb.ur.de/?3117333-0  [EZB] 

http://avs.scitation.org/journal/jvb  [Verlag] 

DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik 

Weitere Klassifikation(en):
Regensburger Verbundklassifikation (rvk): UA 4922

Schlagwörter:
Vakuumtechnik

Zeitschrift

Englisch 

Vereinigte Staaten, USA, United States 

Online-Ausgabe

1256321419

30-04-24

1475424-1  

Journal of vacuum science & technology : JVST ; the official journal of the American Vacuum Society / publ. by the American Institute of Physics

A, Vacuum, surfaces, and films

American Vacuum Society 

New York, NY : Inst.

1.1983 -

Online-Ressource

Gesehen am 19.06.2023

Erscheint auch als Druck-Ausgabe:  [Journal of vacuum science and technology / A]  (ISSN: 0734-2101) 

Erscheint auch als CD-ROM-Ausgabe:  [Journal of vacuum science & technology / A & B] 

ISSN: 1520-8559

OCLC-Nr.: 973877781

JVTAD

https://ezb.ur.de/?1475424-1  [EZB] 

https://pubs.aip.org/avs/jva  [Verlag] 

DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik 

Schlagwörter:
Epitaxie ; Zeitschrift ; Online-Ressource
Oberflächenphysik ; Zeitschrift ; Online-Ressource
Vakuumphysik ; Zeitschrift ; Online-Ressource
Vakuumtechnik ; Zeitschrift ; Online-Ressource

Zeitschrift

Englisch 

Vereinigte Staaten, USA, United States 

Online-Ausgabe

019684665

30-04-24

2008474-2  

Surface science spectra : SSS : an international journal & database devoted to archiving spectra from surfaces & interfaces

American Vacuum Society 

Woodbury, NY : AVS

1.1992 -

Zitiertitel: Surf. Sci. Spectra

Haupttitel früher: Surface science spectra online

Gesehen am 28.04.2023

Herausgeber früher: American Vacuum Society

Erscheint auch als Druck-Ausgabe:  Surface science spectra  (ISSN: 1055-5269) 

ISSN: 1520-8575

OCLC-Nr.: 1368139361

SSSPEN

https://pubs.aip.org/avs/sss  [Verlag] 

https://ezb.ur.de/?2008474-2  [EZB] 

DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik 

Zeitschrift

Englisch 

Vereinigte Staaten, USA, United States 

Online-Ausgabe

020232691

17-04-24

3000330-1  

AVS Quantum Science

American Vacuum Society 

[Melville, NY] : AIP Publishing

Volume 1, issue 1 (December 2019)-

Abweichender Titel: AVS Quantum Sci.

Online-Ressource

ISSN: 2639-0213

OCLC-Nr.: 1368552795

https://pubs.aip.org/avs/aqs  [Verlag] 

https://ezb.ur.de/?3000330-1  [EZB] 

DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik 

Zeitschrift

Englisch 

Online-Ausgabe

1199865591

26-04-24

209633-X  

Proceedings of the national symposium of the American Vacuum Society

American Vacuum Society 

American Vacuum Society. Thin Film Division 

American Vacuum Society. Surface Division 

Conference on Microbalance Techniques 

New York, NY : American Inst. of Physics

16.1969(1970) - 39.1992(1993)

Hauptsacht. 20.1973 u. 22.1975 u. 24.1978: Proceedings of the national symposium of the American Vacuum Society and the Conference on Microbalance Techniques

Zusatz 16.1969: including the Symposia of the Thin Film and Surface Science Divisions

Vorg.:  National Vacuum Symposium <American Vacuum Society>: Proceedings of the National Vacuum Symposium of the American Vacuum Society and the Thin-Film Symposium of the Thin-Film Division of the American Vacuum Society 

Forts.:  American Vacuum Society: Papers from the national symposium of the American Vacuum Society 

16=7,1; 17=8,1; 19=10,1; 20=11,1; 21=12,1; 22=13,1; 23=14,1; 24=15,2; 25=16,2; 26=17,1; 27=18,2-3; 28=20,3-4 von:  Journal of vacuum science & technology  (ISSN: 0022-5355) 

29=1,2; 30=2,2; 31=3,3; 32=4,3; 33=5,4; 34=6,3; 35=7,3; 36=8,3; 37=9,3; 38=10,4; 39=11,4 von:  [Journal of vacuum science and technology / A]  (ISSN: 0734-2101) 

33=10 von:  International Vacuum Congress: Proceedings of the ... International Vacuum Congress 

33=6 von:  International Conference on Solid Surfaces: Proceedings of the ... International Conference on Solid Surfaces 

OCLC-Nr.: 632778745

DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik  ;  620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau 

Schlagwörter:
Vakuumtechnik ; Kongress

Zeitschrift

Kongressbericht

Englisch 

Vereinigte Staaten, USA, United States 

Druckausgabe

011214198

03-09-22

1202256-1  

Papers from the national symposium of the American Vacuum Society

American Vacuum Society 

New York, NY : American Inst. of Physics

40.1993(1994) - 46.1999(2000)

Vorg.:  American Vacuum Society: Proceedings of the national symposium of the American Vacuum Society 

Forts.:  American Vacuum Society: Papers from the .. international symposium of AVS 

40=12,4; 41=13,3; 42=14,3; 43=15,3; 44=16,3; 45=17,4; 46=18,4 von:  [Journal of vacuum science and technology / A]  (ISSN: 0734-2101) 

OCLC-Nr.: 1070342230

DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik  ;  620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau 

Zeitschrift

Kongressbericht

Englisch 

Vereinigte Staaten, USA, United States 

Druckausgabe

017291976

11-10-22

27006-4  

Preliminary program : international symposium of the American Vacuum Society / American Institute of Physics

American Vacuum Society 

[Wechselnde Verlagsorte] : [Verlag nicht ermittelbar]

Nachgewiesen 30.1983 -

Zusatz bis 45.1998: national symposium of the American Vacuum Society

30=1,3; 31=2,3; 32=3,5; 33=4,5; 34=5,5; 35=6,6; 36=7,5; 37=8,5; 40=11;5; 41=12,5; 42=13,5; 43=14,5; 44=15,5; 45=16,5; 46=17,5; 47=18,5; 48=19,5; 49=20,5; 50=21,5; 51=22,5; 52=23,4; 55=26,5 von:  [Journal of vacuum science and technology / A]  (ISSN: 0734-2101) 

OCLC-Nr.: 1367274708

DDC-Sachgruppen der ZDB: 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau 

Zeitschrift

Kongressbericht

Englisch 

Vereinigte Staaten, USA, United States 

Druckausgabe

010295186

11-10-22

2212422-6  

Journal of vacuum science & technology : the official journal of the American Vacuum Society / publ. by the American Institute of Physics

American Vacuum Society 

New York, NY : Inst.

1.1964 - 21.1982

Hauptsacht. bis 9.1972: The journal of vacuum science and technology

Abkürzungstitel: J. Vac. Sci. Technol.

Abkürzungstitel: J of Vacuum Sci. Technol.

Abkürzungstitel: J. Vac. Sci. & Technol. (USA)

Online-Ressource

Gesehen 26.04.2023

Forts.:  [Journal of vacuum science & technology / A] 

Forts.:  [Journal of vacuum science & technology / B] 

Erscheint auch als Druck-Ausgabe:  Journal of vacuum science & technology  (ISSN: 0022-5355) 

Linking ISSN: 0022-5355

ISSN: 2331-1754

OCLC-Nr.: 1368079692

JVSTA

https://ezb.ur.de/?2212422-6  [EZB] 

https://pubs.aip.org/avs/jvst/issue/21/4  [Verlag] 

https://intl.ieeexplore.ieee.org/servlet...  [Verlag] 

DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik 

Zeitschrift

Englisch 

Vereinigte Staaten, USA, United States 

Online-Ausgabe

977561518

26-04-24

55263-X  

American Vacuum Society series : AVS series

American Vacuum Society 

American Institute of Physics 

New York, NY : American Inst. of Physics

1.1986 -

1=138; 2=149; 3=165; 4=167; 5=171; 6=182; 7=192; 9=200; 10=227; 11=235; 12=236 von:  American Institute of Physics: AIP conference proceedings  (ISSN: 0094-243X) 

1=1 von:  Frontiers in electronic materials & processing 

ISSN: 1050-7248

OCLC-Nr.: 647881292

DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik 

Serie

Englisch 

Vereinigte Staaten, USA, United States 

Druckausgabe

010486089

12-11-24

2055120-4  

Papers from the .. international symposium of AVS / American Vacuum Society

American Vacuum Society 

Melville, NY : American Inst. of Physics

47.2000(2001) -

Vorg.:  American Vacuum Society: Papers from the national symposium of the American Vacuum Society 

47=19,4; 49=21,4; 50=22,4; 51=23,4; 52=24,4; 53=25,4; 54=26,4; 55=27,4; 56=28,4 von:  [Journal of vacuum science and technology / A]  (ISSN: 0734-2101) 

OCLC-Nr.: 313665934

DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik  ;  620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau 

Zeitschrift

Kongressbericht

Englisch 

Vereinigte Staaten, USA, United States 

Druckausgabe

022155775

11-10-22

1475429-0  

Journal of vacuum science & technology : JVST ; the official journal of the American Vacuum Society / publ. by the American Institute of Physics

B, Microelectronics processing and phenomena

American Vacuum Society 

New York, NY : Inst.

2. Ser. 1.1983 - 2. Ser. 8.1990

Abkürzungstitel: JVTBD9

Abkürzungstitel: J. Vac. Sci. Technol. B

Online-Ressource

Gesehen am 15. Dezember 2016

Vorg.:  Journal of vacuum science & technology 

Fortgesetzt durch:  Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures 

Erscheint auch als Druck-Ausgabe:  [Journal of vacuum science and technology / B]  (ISSN: 2166-2746) 

Erscheint auch als CD-ROM-Ausgabe:  [Journal of vacuum science & technology / A & B] 

Linking ISSN: 0734-211X

ISSN: 2327-9877

OCLC-Nr.: 1368160498

JVTBD9

https://ezb.ur.de/?1475429-0  [EZB] 

http://avs.scitation.org/journal/jvb  [Verlag] 

DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik 

Weitere Klassifikation(en):
Systematik der TUB München (stub): ELT 279z ; PHY 101z

Schlagwörter:
Halbleitertechnologie ; Zeitschrift ; Online-Ressource
Dünnschichttechnik ; Zeitschrift ; Online-Ressource
Vakuumphysik ; Zeitschrift ; Online-Ressource

Zeitschrift

Englisch 

Vereinigte Staaten, USA, United States 

Online-Ausgabe

019684703

30-04-24

766904-5  

Proceedings of the National Vacuum Symposium of the American Vacuum Society and the Thin-Film Symposium of the Thin-Film Division of the American Vacuum Society

National Vacuum Symposium <American Vacuum Society> 

Thin Film Symposium 

American Vacuum Society 

American Vacuum Society. Thin Film Division 

New York, NY : American Inst. of Physics

Nachgewiesen 15.1968(1969)

Vorg.: Abstracts of papers / National Vacuum Symposium

Forts.:  American Vacuum Society: Proceedings of the national symposium of the American Vacuum Society 

15=6,1 von:  Journal of vacuum science & technology  (ISSN: 0022-5355) 

OCLC-Nr.: 311134886

DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik 

Zeitschrift

Kongressbericht

Englisch 

Vereinigte Staaten, USA, United States 

Druckausgabe

014190427

03-09-22

56412-6  

Proceedings of the American Vacuum Society Tri-State Symposium on Surface Analysis and Thin Film Technology / TRISA

TRISA 

American Vacuum Society 

Amsterdam [u.a.] : North-Holland

1.1985(1986) -

1=26,4 von:  Applied surface science  (ISSN: 0169-4332) 

OCLC-Nr.: 183217035

DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik  ;  660 Technische Chemie  ;  670 Industrielle Fertigung 

Zeitschrift

Kongressbericht

Englisch 

Niederlande 

Druckausgabe

01049698X

03-09-22

766903-3  

Proceedings of the AVS Symposium on High-Speed, High-Frequency Integrated Circuits

Symposium on High Speed, High Frequency Integrated Circuits 

American Vacuum Society 

New York, NY : American Inst. of Physics

Nachgewiesen 8.1977 - 10.1979(1980)

Forts.:  Symposium on Advances in Microfabrication: Proceedings of the annual Symposium of the Greater New York Chapter of the AVS on Advances in Microfabrication 

8 in 14,5; 10 in 16,6 von:  Journal of vacuum science & technology  (ISSN: 0022-5355) 

OCLC-Nr.: 313666307

DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik 

Zeitschrift

Kongressbericht

Vereinigte Staaten, USA, United States 

Druckausgabe

014190419

03-09-22

2676899-9  

Journal of vacuum science & technology : JVST ; an AVS journal / publ. by the Society through the American Institute of Physics

A & B

American Vacuum Society 

New York, NY : Inst.

Nachgewiesen 29.2011 - 31.2013; damit Ersch. eingest.

CD-ROMs

Gesehen am 21.08.13

Erscheint auch als Druck-Ausgabe:  [Journal of vacuum science and technology / A]  (ISSN: 0734-2101) 

Erscheint auch als Druck-Ausgabe:  [Journal of vacuum science and technology / B]  (ISSN: 2166-2746) 

Erscheint auch als Online-Ausgabe:  [Journal of vacuum science & technology / A]  (ISSN: 1520-8559) 

Erscheint auch als Online-Ausgabe:  [Journal of vacuum science & technology / B]  (ISSN: 2327-9877) 

OCLC-Nr.: 809154351

DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik 

Zeitschrift

Englisch 

Vereinigte Staaten, USA, United States 

CD/DVD

1024972038

01-12-17